Вышедшие номера
Радиационное повреждение карбид-кремниевых диодов заряженными частицами высоких энергий
Переводная версия: 10.1134/S1063782618130171
Стрельчук А.М.1, Козловский В.В.2, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: anatoly.strelchuk@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.

Представлено исследование радиационной стойкости трех типов коммерческих выпрямительных диодов Шоттки на основе карбида кремния (4H-SiC, уровень легирования базового слоя (3-7)·1015 см-3 ) при электронном облучении (с энергиями электронов 0.9 или 3.5 МэВ), а также при протонном облучении (с энергией протонов 15 МэВ). Контролировались прямые и обратные вольт-амперные характеристики диодов. В исходном состоянии диоды характеризовались напряжением пробоя 1-2 кВ и практически идеальной прямой вольт-амперной характеристикой. Установлено, что наиболее чувствительным к облучению и определяющим радиационную стойкость параметром является последовательное сопротивление диодов, растущее почти на 10 порядков и достигающее 109 Ом при больших дозах. Пороговые дозы при облучении электронами лежат в пределах Dth~(0.5-2)·1016-2 и зависят от энергии электронов и уровня легирования базового слоя, а при облучении протонами Dth~5·1013-2.