Радиационное повреждение карбид-кремниевых диодов заряженными частицами высоких энергий
Стрельчук А.М.1, Козловский В.В.2, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: anatoly.strelchuk@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.
Представлено исследование радиационной стойкости трех типов коммерческих выпрямительных диодов Шоттки на основе карбида кремния (4H-SiC, уровень легирования базового слоя (3-7)·1015 см-3 ) при электронном облучении (с энергиями электронов 0.9 или 3.5 МэВ), а также при протонном облучении (с энергией протонов 15 МэВ). Контролировались прямые и обратные вольт-амперные характеристики диодов. В исходном состоянии диоды характеризовались напряжением пробоя 1-2 кВ и практически идеальной прямой вольт-амперной характеристикой. Установлено, что наиболее чувствительным к облучению и определяющим радиационную стойкость параметром является последовательное сопротивление диодов, растущее почти на 10 порядков и достигающее 109 Ом при больших дозах. Пороговые дозы при облучении электронами лежат в пределах Dth~(0.5-2)·1016 cм-2 и зависят от энергии электронов и уровня легирования базового слоя, а при облучении протонами Dth~5·1013 cм-2.
- O'Connor, J.R. Smiltens. Proc. Conf. on Silicon Carbide (Pergamon Press, 1960)
- Е.В. Калинина. ФТП, 41, 769 (2007)
- A.A. Лебедев, К.С. Давыдовская, А.М. Стрельчук, В.В. Козловский. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 9, 35 (2017)
- C. Claes, E. Simoen. Radiation effects in advanced semiconductor materials and devices (Springer Verlag, Berlin Heidelberg, 2002)
- E. Omotoso, W.E. Meyer, F.D. Auret, A.T. Paradzah, M. Diale, S.M.M. Coelho, P.J. Janse van Rensburg. Mater. Sci. Semicond. Process., 39, 112 (2015)
- А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, В.В. Козловский, A.A. Лебедев. ФТП, 42, 370 (2008)
- R.K. Sharma, P. Hazdra, S. Popelka. Intern. J. Microelectronics Comput. Sci., 6, 59 (2015)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, О.И. Коньков. ФТП, 43, 1249 (2009)
- A.M. Strel'chuk, V.V. Zelenin, A.N. Kuznetsov, J. Tringe, A.V. Davydov, А.А. Lebedev. Mater. Sci. Forum, 858, 749 (2016)
- A.M. Strel'chuk, А.А. Lebedev, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, D.V. Davydov, V.V. Solov'ev, M.G. Rastegaeva. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 147, 74 (1999)
- A.M. Strel'chuk, V.T. Gromov, V.V. Zelenin, A.N. Kuznetsov, A.A. Lebedev, N.G. Orlov, N.S. Savkina, V.P. Shukailo. Mater. Sci. Forum, 897, 459 (2017)
- Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, A. Hallen, А.О. Константинов, В.В. Лучинин. А.Ю. Никифоров. ФТП, 37, 1260 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.