Особенности напряженно-деформированного состояния гетероструктур Si/SiO2/Ge с наноостровками германия предельной плотности
Курилюк В.В.1, Коротченков О.А.1
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 декабря 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2013 г.
В рамках модели упругого континуума с использованием метода конечных элементов выполнены расчеты напряженно-деформированного состояния кремний-германиевых гетероструктур с полусферическими островками германия, выращенными на окисленной поверхности кремния. Показано, что при увеличении плотности островков до предельных значений в SiGe-структуре с открытыми квантовыми точками существенно изменяются величина и пространственное распределение полей упругих деформаций. Результаты теоретических расчетов позволяют выявить участки гетероструктуры с максимальным изменением напряженно-деформированного состояния, местоположение которых можно варьировать изменением плотности островков.
- A. Alguno, N. Usami, T. Ujihara, K. Fujiwara, G. Sazaki, K. Nakajima, Y. Shiraki. Appl. Phys. Lett., 83 (6), 1258 (2003)
- A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, Yu.Yu. Proskuryakov. J. Appl Phys., 89 (10), 5676 (2001)
- S.H. Hong, M.C. Kim, P.S. Jeong, S.-H. Choi, K.J. Kim. Nanotechnology, 19 (30), 305 203 (2008)
- R.O. Rezaev, S.M. Kiravittaya, V. Fomin, A. Rastelli, O.G. Schmidt. Phys. Rev. B, 82 (15), 153 306 (2010)
- K. Brunner. Rep. Prog. Phys., 65 (1), 27 (2002)
- V. Kuryliuk, O. Korotchenkov, A. Cantarero. Phys. Rev. B, 85 (7), 075 406 (2012)
- J. Stangl, V. Holy, G. Bauer. Rev. Mod. Phys., 76 (3), 725 (2004)
- G. Jin, J. Liu, K.L. Wang. Appl. Phys. Lett., 83 (14), 2847 (2003)
- A.B. Talochkin, A.G. Cherkov. Nanotechnology, 20 (34), 345 702 (2009)
- A.I. Yakimov, A.A. Bloshkin, A.V. Dvurechenskii. Phys. Rev. B, 81 (11), 115 434 (2010)
- O.G. Schmidt, C. Lange, K. Eberl, O. Kienzle, F. Ernst. Appl. Phys. Lett., 71 (16), 2340 (1997)
- I. Berbezier, A. Ronda, A. Portavoce, N. Motta. Appl. Phys. Lett., 83 (23), 4833 (2000)
- A.A. Shklyaev, M. Shibata, M. Ichikawa. Phys. Rev. B, 62 (3), 1540 (2000)
- А.А. Шкляев, М. Ичикава. УФН, 178 (2), 139 (2008)
- C.-Y. Chien, Y.-J. Chang, K.-H. Chen, W.-T. Lai, T. George, A. Scherer, P.-W. Li. Nanotechnology, 22 (43), 435 602 (2011)
- M. Hecker, M. Roelke, P. Hermann, E. Zschech, V. Vartanian. J. Phys.: Conf. Ser., 209 (1), 012 008 (2010)
- A.A. Shklyaev, S. Nobuki, S. Uchida, Y. Nakamura, M. Ichikawa. Appl. Phys. Lett., 88 (12), 121 919 (2006)
- A.O. Podolian, V.V. Kuryliuk, A.B. Nadtochiy, S.V. Kondratenko, O.A. Korotchenkov, Yu.N. Kozyrev, V.K. Sklyar, M.Yu. Rubezhanska, V.S. Lysenko. Adv. Mater. Res., 276, 159 (2011)
- O.C. Zienkiewicz, R.L. Taylor, J.Z. Zhu. The Finite Element Method: Its Basis and Fundamentals (London, Butterworth-Heinemann, 2005)
- B.A. Auld. Acoustic Fields and Waves in Solids (N. Y., Wiley, 1973) v. 1
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.