Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Синхротронные исследования формирования нанокластеров кремния в многослойных наноструктурах Al2O3/SiOx/ Al2O3/SiOx/.../Si(100)
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия 
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.
Проведены исследования многослойных нанопериодических структур Al2O3/SiOx/Al2O3/SiOx/.../Si(100) методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (XANES). Экспериментальные спектры XANES были получены с использованием синхротронного излучения. Показано формирование нанокластеров кремния в поверхностных слоях структур при их высокотемпературном отжиге. При этом структуры характеризовались интенсивной размерно-зависимой фотолюминесценцией в области длин волн вблизи 800 нм. В то же время показано, что возможно образование алюмосиликатов. Обнаружен эффект обращения интенсивности спектров XANES при взаимодействии синхротронного излучения с многослойными нанопериодическими структурами.
- G.F. Grom, D.J. Lockwood, J.P. McCaffrey, H.J. Labbe, P.M. Fauchet, B. White, J. Diener, D. Kovalev, F. Koch, L. Tsybeskov. Nature, 407, 358 (2000)
- M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80, 661 (2002)
- А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
- M. Kasrai, W.N. Lennard, R.W. Brunner, G.M. Bancroft, J.A. Bardwell, K.H. Tan. Appl. Surf. Sci., 99, 302 (1996)
- М.А. Блохин. Рентгеновские лучи (М., Гостехтеоретиздат, 1953)
- М.А. Румш, А.П. Лукирский, В.Н. Щемелев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 25 (8), 1060 (1961)
- Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия (Л., Изд-во ЛГУ, 1971)
- F.C. Brown, O.P. Rustgi. Phys. Rev. Lett., 28 (8), 497 (1972)
- В.А. Терехов, Э.П. Домашевская. Изв. АН СССР. Сер. физ., 49 (8), 1531 (1985)
- S.Yu. Turishchev, V.A. Terekhov, V.M. Kashkarov, E.P. Domashevskaya, S.L. Molodtsov, D.V. Vyalikh. J. Electron Spectr. Relat. Phenom., 156--158, 445 (2007)
- P.L. Hansen, R. Brydson, D.W. McComb. Microscopy, Microanalysis. Microstructures, 3, 213 (1992)
- M. Watanabe, T. Ejima, N. Miyata, T. Imazono, M. Yanagihara. Nucl. Sci. Techniq., 17 (5), 257 (2006)
- М.А. Кудряшов, А.И. Белов, А.Н. Михайлов, А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум. Тез. докл. XXXVII Междунар. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (М., Россия, 2007)
- H. Piao, N.S. McIntyre. Surface Interface Analysis, 31, 874 (2001)
- C. Weigel, G. Calas, L. Cormier, L. Galoisy, G.S. Henderson. J. Phys.: Condens. Matter, 20, 135 219 (2008)
- H. Rinnert, M. Vergnat, G. Marchal, A. Burneau. Appl. Phys. Lett., 72 (24), 3157 (1998)
- S. Kim, D.H. Shin, D.Y. Shin, C.O. Kim, J.H. Park, S.B. Yang, S.-H. Choi, S.J. Yoo, J.-G. Kim. J. Nanomater., 2012 (Article ID 572746), 1 (2012)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
