Вышедшие номера
Синхротронные исследования формирования нанокластеров кремния в многослойных наноструктурах Al2O3/SiOx/ Al2O3/SiOx/.../Si(100)
Турищев С.Ю.1, Терехов В.А.1, Коюда Д.А.1, Панков К.Н.1, Ершов А.В.2, Грачев Д.А.2, Машин А.И.2, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Проведены исследования многослойных нанопериодических структур Al2O3/SiOx/Al2O3/SiOx/.../Si(100) методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (XANES). Экспериментальные спектры XANES были получены с использованием синхротронного излучения. Показано формирование нанокластеров кремния в поверхностных слоях структур при их высокотемпературном отжиге. При этом структуры характеризовались интенсивной размерно-зависимой фотолюминесценцией в области длин волн вблизи 800 нм. В то же время показано, что возможно образование алюмосиликатов. Обнаружен эффект обращения интенсивности спектров XANES при взаимодействии синхротронного излучения с многослойными нанопериодическими структурами.