Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние асимметрии расположения металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек

DOI: 10.21883/FTP.2021.12.51715.9700

Переводная версия: 10.21883/SC.2022.14.53872.9700

НПО «Государственный институт прикладной оптики», НИР, №08/2017

Министерство образования и науки Российской Федерации, на основе госзадания, № 007-ГЗ/43363/26

Полетаев С.Д.¹, Любимов А.И.²

¹Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия Institute of Image Processing Systems, Russian Academy of Sciences, Samara, Russia

²Государственный институт прикладной оптики, Казань, Россия Scientific Production Association State Institute of Applied Optics (SPC SIAO), Kazan, Russia

Scientific Production Association State Institute of Applied Optics (SPC SIAO), Kazan, Russia

Email: sergpolet@gmail.com, las126@yandex.ru

Поступила в редакцию: 21 июня 2021 г.

В окончательной редакции: 18 июля 2021 г.

Принята к печати: 13 августа 2021 г.

Выставление онлайн: 14 сентября 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Теоретически и экспериментально исследовано влияние степени асимметрии расположения металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при селективном реактивно-ионном травлении массивных подложек в плазмообразующих газовых смесях на основе фреона-14. Теоретически показано отсутствие влияния асимметрии расположения маски на удельную реактивную мощность. Показано, что на краю подложки, особенно с маской, возникает резкий рост плотности высокочастотного тока, доказывающий преимущественно поверхностный (торцевой) характер его протекания. Установлено влияние расположения маски на поведение плотности электрических зарядов, коррелирующее с распределением плотности высокочастотного тока в приповерхностном слое подложки. Перераспределения плотности заряда химически активных частиц плазмы на краю маски при этом обнаружено не было. В соответствии с полученными теоретическими результатами экспериментально показано, что металлические маски с соотношением длин сторон 36/0 мм снижают коэффициент отражения по мощности в пределах 5%. Ключевые слова: дифракционный оптический элемент, реактивно-ионное травление, индуктивно связанная плазма, контактная маска, нижний электрод, моделирование COMSOL Multiphysics.

D.L. Flamm, V.M. Donelly. VLSI Electron. Microstructure Sci., 8, 190 (1985)
S.B. Odinokov, G.R. Sagatelyan, M.S. Kovalev, K.N. Bugorkov. J. Opt. Technol., 86 (5), 317 (2019). DOI: 10.1364/JOT.86.000317
V.S. Pavelyev, S.A. Borodin, N.L. Kazanskiy, G.F. Kostyuk, A.V. Volkov. Opt. Laser Technol., 39 (6), 1234 (2007). DOI: 10.1016/j.optlastec.2006.08.004
N.L. Kazanskiy, V.A. Kolpakov. Optical materials: Microstructuring surfaces with off-electrode plasma (CRC Press, 2017). DOI: 10.1201/b21918
Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements, ed. by Victor A. Soifer (John Wiley \& Sons, Inc., 2002)
V. Korolkov, D. Belousov. Int. Conf. Information Technol. and Nanotechnol. ( ITNT), (2020) p. 1. DOI: 10.1109/ITNT49337.2020.9253171
Н.М. Лебедева, Т.П. Самсонова, Н.Д. Ильинская, С.И. Трошков, П.А. Иванов. ЖТФ, 90 (6), 997 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.06.49289.12-20 [N.M. Lebedeva, T.P. Samsonova, N.D. Il'inskaya, S.I. Troshkov, P.A. Ivanov. JTF, 65 (6), 957 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220060195]
B. Zhang, X. Zhang. Vacuum, 174, 109215 (2020). https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109215
C. Jia, J. Linhong, Z. Yu, S. Yixiang. J. Semicond., 31 (3), 032004 (2010). DOI: 10.1088/1674-4926/31/3/032004
T. Xiao, D. Ni. Chem. Eng. Res. Des., 164, 113 (2020). https://doi.org/10.1016/j.cherd.2020.09.013
A.O. Brezmes, C. Breitkopf. Vacuum, 109, 52 (2014). http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2014.06.012
П.А. Носов, А.Ф. Ширанков, Р.С. Третьяков, А.Г. Григорьянц, А.Я. Ставертий. Изв. вузов. Приборостроение, 59 (12), 1028 (2016). DOI: 10.17586/0021-3454-2016-59-12-1028-1033
N.L. Kazanskiy, G.V. Uspleniev, A.V. Volkov. Proc. SPIE, 4316, 193 (2000). DOI: 10.1117/12.407678
С.Д. Полетаев, А.И. Любимов. ЖТФ, 91 (4), 657 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2021.04.50630.271-20 [S.D. Poletayev, A.I. Lyubimov. JTF, 66 (4), 639 (2021). DOI: 10.1134/S1063784221040150]
E.T. Lim, J.S. Ryu, C.W. Chung. Thin Sol. Films, 665, 1 (2018). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.08.046
M.A. Butt, S.N. Khonina N.L. Kazanskiy. Computer Optics, 43 (6), 1079 (2019). DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-6-1079-1083
С.Д. Полетаев, А.И. Любимов. Письма ЖТФ, 47 (11), 44 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.11.51008.18717
И.Е. Ефимов, Г.А. Останькович. Радиочастотные линии передачи (М., Связь, 1977)
Е. Берлин, С. Двинин, Л. Сейдман. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок (М., Техносфера, 2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель