Вышедшие номера
Визуализация заращенных наноостровков GeSi в кремниевых структурах методом атомно-силовой микроскопии на сколах
Дунаевский М.С.1, Красильник З.Ф.2, Лобанов Д.Н.2, Новиков А.В.2, Титков А.Н.1, Laiho R.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Wihury laboratory, University of Turku, Turku, Finland
Поступила в редакцию: 21 ноября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Методом атомно-силовой микроскопии в атмосферных условиях исследовались топографические характеристики сколов структур Ge / Si, содержащих заращенные слои наноостровков GeSi. Показано, что релаксация упругих напряжений островков и прилегающих к ним областей матрицы Si на свободной поверхности скола приводит к проявлению локальных топографических особенностей на сколах структур. Обнаружено, что островки могут проявляться на поверхности скола в виде двух типов топографических особенностей: в виде бугорков, когда плоскость скола непосредственно пересекает островок, упруго сжатый в матрице Si, или в виде ямки, когда плоскость скола пересекает прилегающую к островку область Si-матрицы, подвергнутую растяжению. Выполненные исследования продемонстрировали возможности нового метода изучения заращенных наноостровков в целях их обнаружения, оценки размеров, распределений по размерам, эффектов взаимодействия в многослойных структурах, а также выявления связанных с ними деформаций.