Модификация наноструктуры алмазоподобных пленок углерода бомбардировкой ионами ксенона
Файзрахманов И.А.1, Базаров В.В.1, Степанов А.Л.2, Хайбуллин И.Б.1
1Казанский физико-технический институт Казанского научного центра Российской академии наук, Казань, Россия
2Институт физики 1, Технический университет Аахена, Аахен, Германия
Поступила в редакцию: 2 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Изучено влияние бомбардировки тяжелыми ионами Xe (энергия Ei=80 кэВ) на оптические свойства, низкотемпературную проводимость и наноструктуру алмазоподобных пленок углерода (DLC). Установлены ряд специфических особенностей поведения графитоподобных нанокластеров, которые не наблюдаются при бомбардировке пленок легкими ионами. В области низких доз облучения (D<6· 1013 см-2) происходит уменьшение концентрации и размеров нанокластеров. При относительно высоких дозах бомбардировки (D>1.2· 1015 см-2) эффективная оптическая щель, определенная из зависимости Тауца, становится отрицательной, что связано с большой плотностью электронных состояний дефектов внутри щели. В этой области изменяется температурная зависимость проводимости, хотя сам механизм остается прыжковым. Ширина зоны дефектных состояний, образующейся в результате облучения, по которой осуществляется перенос зарядов, составляет 0.07 эВ, что близко к ранее полученному нами значению.
- Г.Ф. Качурин, И.Е. Тысченко, В. Скорупа, Р.А. Янков, К.С. Журавлев, Н.А. Паздников, В.А. Володин, А.К. Гутаковский, А.Ф. Лейер. ФТП, 31, 730 (1997)
- A.L. Stepanov, D. Hole. Recent Res. Devel. Appl. Phys., 5, 1 (2002)
- I.A. Faizrakhmanov, V.V. Bazarov, V.A. Zhikharev, I.B. Khaibullin. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 127/128, 719 (1997)
- И.А. Файзрахманов, В.В. Базаров, В.А. Жихарев, И.Б. Хайбуллин. ФТП, 35, 612 (2001)
- И.А. Файзрахманов, И.Б. Хайбуллин. Поверхность, N 5, 88 (1996)
- Н. Мотт, Э. Дэвис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., Мир, 1974)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.