Вышедшие номера
Исследование характеристик фотодиодных линеек на InSb
Бирюлин П.В.1, Туринов В.И.1, Якимов Е.Б.2
1Научно-производственное предприятие "Исток", Фрязино, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 18 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.

Исследованы электрические характеристики из 8-элементных сурьмянисто-индиевых фотодиодных линеек при T=78-145 K. Коэффициенты взаимной связи соседних p-n-переходов не превышали 4.3%. При исследовании поверхности имплантированных цинком p-n-переходов в режиме вторичных электронов и методом наведенного тока в растровом микроскопе у них выявлены дефекты под пленкой ZnS, а также локальные неоднородности тока через p-n-переходы.