Вышедшие номера
Взаимосвязь спиновых структурных дефектов и проводимости в пленках гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода
Шевалеевский О.И.1, Цветков А.А.1, Ларина Л.Л.1, Myong S.Y.2, Lim K.S.2
1Институт биохимической физики Российской академии наук, Москва, Россия
2Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon 305-701, South Korea
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследовано поведение парамагнитных дефектов и темновой проводимости в гетерогенных образцах гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода (nc-SiC : H), полученных методом фотостимулированной газовой эпитаксии (photo-CVD). Показано, что при увеличении содержания углерода в nc-SiC : H происходит фазовый переход структуры от нанокристаллической к аморфной, что приводит к уменьшению концентрации спиновых дефектов и значительному понижению величины темновой проводимости.