Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Межфазные взаимодействия и особенности структурной релаксации в контактах TiBx-n-GaAs (InP, GaP, 6H-SiC), подвергнутых активным обработкам
1Государственное предприятие Научно-исследовательский институт "Орион", Киев, Украина
2Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 18 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.
Приведены результаты экспериментальных исследований межфазных взаимодействий в контактах TiBx-n-GaAs (GaP, InP, 6H-SiC), стимулированных внешними воздействиями: быстрой термической обработкой при температурах до 1000oC, микроволновой обработкой при f=2.5 ГГц гамма-квантами 60Co в интервале доз 105-107 рад. Рассмотрены возможные термические и атермические механизмы релаксации внутренних механических напряжений. Показана возможность формирования термостабильных границ раздела TiBx-полупроводник n-типа (GaAs, GaP, InP, 6H-SiC).
- L.M. Porter, R.F. Davis. Mater. Sci. Eng. B, 34, 83 (1995)
- A.G. Baca, F. Ren, J.C. Zolper. Thin Sol. Films, 308--309, 599 (1997)
- Р.А. Андриевский. Успехи химии, 66 (1), 57 (1997)
- Р.А. Андриевский. Успехи химии, 63 (5), 431 (1994)
- Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Д.В. Штанский. ФТТ, 39 (10), 1859 (1997)
- Е.Ф. Венгер, В.В. Миленин, И.Б. Ермолович, Р.В. Конакова, В.Н. Иванов, Д.И. Войциховский. ФТП, 33 (8), 948 (1999)
- J.K. Codwod, A.T. Nagy, Z. Rek. Phys. St. Sol. A, 34 (2), 705 (1976)
- Е.Ф. Венгер, М. Грендел, В. Данишка, Р.В. Конакова, И.В. Прокопенко, Ю.А. Тхорик, Л.С. Хазан. В сб.: Структурная релаксация в полупроводниковых кристаллах и приборных структурах, под ред. Ю.А. Тхорика (Киев, Феникс, 1994)
- Физические величины. Справочник, под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова (М., Энергоатомиздат, 1991)
- С.А. Груша, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, А.В. Наумовец, Б.А. Нестеренко, И.В. Прокопенко, Ю.А. Тхорик, Л.С. Хазан. Электрон. техн., сер. 2, полупроводн. приборы, N 5 (208), 68 (1990)
- Н.С. Болтовец, А.Б. Камалов, Е.Ю. Колядина, Р.В. Конакова, П.М. Литвин, О.С. Литвин, Л.А. Матвеева, В.В. Миленин, А.Е. Ренгевич. Письма ЖТФ, 28 (4), 57 (2002)
- Е.Ф. Венгер, Р.В. Конакова, Г.С. Коротченков, В.В. Миленин, Э.В. Руссу, И.В. Прокопенко. В сб.: Межфазные взаимодействия и механизмы деградации в структурах металл--InP и металл--GaAs, под ред. Р.В. Конаковой и Г.С. Коротченко (Киев, Книжная тип. науч. книги, 1999)
- Е.Ф. Венгер, И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Г.Е. Чайка. Вопр. атом. науки и техники. Сер. Физика радиац. поврежд. и радиац. материаловедение, B3 (75), 60 (1999)
- J. Breza, M. Kadlecikova, R.V. Konakova, V.C. Lyapin, V.V. Milenin, V.A. Statov, Yu.A. Tkhorik. Appl. Phys. Lett., 67, (10), 1462 (1995)
- S.A. Grusha, L.S. Khazan, R.V. Konakova, S. Lany, V.V. Milenin, V. Nadazdy, V.A. Naumovets, B.A. Nesterenko, Yu.A. Tkhorik. Thin Sol. Films, 215, 50 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
