Вышедшие номера
Внутреннее трение в полупроводниковых тонких пленках, полученных методом золь--гель технологии
Ильин А.С.1, Максимов А.И.2, Мошников В.А.2, Ярославцев Н.П.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Разработана методика, позволяющая эффективно контролировать наличие и состав капсулированных нанофаз в наноструктурированных тонких пленках, полученных по золь-гель технологии. Приведены результаты исследований по данной методике полупроводниковых пленочных структур, предназначенных для использования в газочувствительных адсорбционных датчиках. Показаны возможность и перспективы исследования материалов, а также диагностики протекания золь-гель процессов с помощью разработанной методики.