Пороговый характер формирования наноразмерных островков в системе Ge/Si (100) в присутствии сурьмы
Цырлин Г.Э.1, Дубровский В.Г.2, Тонких А.А.1, Сибирев Н.В.1, Устинов В.М.2, Werner P.3
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Max-Planck Institut fur Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, Halle, Germany
Поступила в редакцию: 14 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2005 г.
Методом атомно-силовой микроскопии проведено исследование поведения массива островков Ge, сформированных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на поверхности Si (100), в зависимости от потока сурьмы к поверхности. Показано, что при увеличении потока Sb до определенного уровня происходит увеличение поверхностной плотности островков, а по достижении его подавление нуклеации островков. При этом на поверхности наблюдаются мезоскопические кластеры Ge малой высоты. Качественное объяснение данного эффекта дается в рамках кинетической модели формирования островков в гетероэпитаксиальных системах, рассогласованных по параметру решетки.
- О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП, 34 (11), 1281 (2000)
- А.А. Тонких, Г.Э. Цырлин, В.Г. Дубровский, В.М. Устинов, P. Werner. ФТП, 38 (10), 1239 (2004)
- I. Berbezier, A. Ronda, A. Portavoce, N. Motta. Appl. Phys. Lett., 83, 4833 (2003)
- A.V. Osipov, F. Schmitt, S.A. Kukushkin, P. Hess. Appl. Surf. Sci., 188, 156 (2002)
- V.G. Dubrovskii, G.E. Cirlin, V.M. Ustinov. Phys. Rev. B, 68, 075409 (2003)
- В.Г. Дубровский, Ю.Г. Мусихин, Г.Э. Цырлин, В.А. Егоров, Н.К. Поляков, Ю.Б. Самсоненко, А.А. Тонких, Н.В. Крыжановская, Н.А. Берт, В.М. Устинов. ФТП, 38 (3), 342 (2004)
- V.G. Dubrovskii, G.E. Cirlin, Yu.G. Musikhin, Yu.B. Samsonenko, A.A. Tonkikh, N.K. Polyakov, V.A. Egorov, A.F. Tsatsul'nikov, N.A. Krizhanovskaya, V.M. Ustinov, P. Werner. J. Cryst. Growth, 267 (1-2), 47 (2004)
- D. Kashchiev. Nucleation: Basic Theory with Applications (Butterworth Heinemann, Oxford, 2000)
- P. Muller, R. Kern. Appl. Surf. Sci., 102, 6 (1996)
- F.M. Kuni. Preprint No 84-178. E (Kiev, ITP, 1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.