Особенности колебательных спектров алмазоподобных и полимероподобных пленок a-C : H
Коншина Е.А.1, Вангонен А.И.1
1Всероссийский научный центр "ГОИ им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2005 г.
Дан сравнительный анализ инфракрасных спектров МНПВО в интервале 4000-1000 см-1 для алмазоподобных и полимероподобных пленок a-C : H с показателем преломления n>=q2.0 и n=<q1.7 соответственно. Пленки были получены методом химического осаждения в плазме тлеющего разряда на постоянном токе из октана, циклогексана, толуола и ацетилена при вариации условий осаждения. Обнаружены характерные особенности в колебательных спектрах пленок a-C : H с разным показателем преломления. Пик 1250 см-1 наблюдался в спектрах алмазоподобных пленок независимо от исходного углеводорода. Дополнительные пики 3400 и 1700 см-1, соответствующие колебаниям O-H и C=H, присутствуют в спектрах полимероподобных пленок. Показано, что интегральная интенсивность полосы CH-колебаний с максимумом ~2900 см-1 убывает экспоненциально на порядок величины при увеличении n в интервале от 1.55 до 2.4.
- Е.А. Коншина. ЖТФ, 72 (6), 35 (2002)
- V.A. Tolmachev, E.A. Konshina. Diamond Relat. Mater., 5, 1397 (1996)
- Е.А. Коншина. ФТТ, 37, 1120 (1995)
- Е.А. Коншина. ЖТФ, 70 (3), 87 (2000)
- Е.А. Коншина. ЖТФ, 68 (9), 59 (1998)
- Е.А. Коншина. Кристаллография, 40, 1074 (1995)
- Е.А. Коншина, А.П. Онохов. ЖТФ, 69 (3), 80 (1999)
- J. Zelez. RCA Rev., 43, 665 (1982)
- A. Bubenser, B. Dischler, G. Brandt, P. Koidl. J. Appl. Phys., 54, 4590 (1983)
- K. Enke. Appl. Optics, 24, 508 (1985)
- S.F. Pellicori, C.M. Peterson, T.P. Henson. J. Vac. Sci. Technol., A4, 2350 (1986)
- L. Klibanov, N.I. Croitoru, A. Seidman, V. Gilo, R. Dahan. Opt. Eng., 39, 989 (2000)
- М.В. Грязнова, И.И. Данилов, С.Г. Иванов, Е.А. Коншина, А.П. Онохов, М.А. Федоров, Н.А. Феоктистов, А.И. Хребтов. Сб. Трудов V Межд. конф. Прикладная оптика" (СПб., 2002) т. 1, с. 163
- Е.А. Коншина. ФТП, 33, 469 (1999)
- B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
- Fangoing Zhang, Guanghua Chen, Yafei Zhang, Gong Yu. Phys. Status Solidi A, 109, K39 (1988)
- Е.А. Коншина. Опт.-мех. пром-сть, N 2, 15 (1987)
- R. Memming. Thin Sol. Films, 143, 279 (1986)
- Е.А. Коншина, А.В. Баранов, В.Б. Яковлев. ЖПС, 48, 957 (1988)
- А.И. Вангонен, Е.А. Коншина, В.А. Толмачев. ЖФХ, 71, 1102 (1997)
- Н. Харрик. Спектроскопия внутреннего отражения (М., Мир, 1970) с. 335
- В.Б. Яковлев, Л.К. Васильева, В.В. Веремей, Е.А. Коншина. ЖПС, 53, 863 (1990)
- M.P. Nadler, T.M. Donovan, A.K. Green. Thin Sol. Films, 116, 241 (1984)
- I. Watanabe, S. Hasegawa, Y. Kurato. Jap. J. Appl. Phys., 21, 856 (1982)
- D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockayne. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
- K. Walters, P. Honeybone, D.W. Huxley, R.J. Newport, W.S. Howells. Phys. Rev. B, 50, 831 (1994)
- M. Jager, J. Gottward, H.W. Spiess, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 84 (1994)
- J.R. Honeybone, R.J. Newport, J.K. Walters, W.S. Howells, J. Tomkinson. Phys. Rev. B, 50, 839 (1994)
- J. Robertson. Progr. Sol. St. Chem., 21, 199 (1991)
- А.В. Баранов, Е.А. Коншина. Опт. и спектр., 65, 856 (1988)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук