Вышедшие номера
Влияние эрбия и кислорода на интенсивность фотолюминесценции эрбия и состав пленок a-SiOx : H<Er,O>, полученных магнетронным распылением на постоянном токе
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1, Гусев О.Б.1, Кудоярова В.Х.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Изучалось влияние различных концентраций кислорода (CO2) в газовой смеси (20% SiH4+80% Ar)+O2 и площади эрбиевой мишени (SEr) на состав и фотолюминесцению Er3+ аморфных пленок a-SiOx : H<Er,O>, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Анализ экспериментальных данных показал, что кластеры [Er-O] и [Er-O-Si-O] формируются в газовой фазе плазмы с участием конкурирующих реакций окисления и процесса распыления Si- и Er-мишеней, а также благодаря взаимодействию в газовой фазе ассоциатов [Si-O] и [Er-O] друг с другом и с кислородом. Разрыв зависимостей концентраций связанного с эрбием кислорода и эрбия в пленке, NOEr-O,NEr=f(CO2,SEr), при CO2~(5-6.5) мол% подтверждает гипотезу существования различных эрбиевых кластеров. Определены условия, при которых получаются пленки a-SiOx : H<Er,O> с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия на длине волны 1.54 мкм.