Cathodoluminescence study of silicon oxide/silicon interface
Zamoryanskaya M.V.1, Sokolov V.I.1
1Ioffe Physicotechnical Institute, Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia
Поступила в редакцию: 12 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2007 г.
In this paper the local cathodoluminescence method was used to study characteristics of SiO2/Si interface, a change of its properties during oxidation and an influence of the type of silicon conductivity on the properties of SiO2/Si interface. This research shows that the first phase of silicon oxidation is formation of amorphous silicon layers on the silicon surface and the appearance of silicon clusters in the natural silicon oxide. Cathodoluminescence gives a possibility for founding the presence of point defects in silicon oxide and silicon and for studying the distribution of such defects on the surface and at the depth. PACS: 68.35.Dv, 78.60.Hk, 78.66.Db
- M.V. Zamoryanskaya, S.G. Konnikov, A.N. Zamoryanski. Instruments and Experimental Techniques, 47, 477 (2004)
- H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. von Czarnowski. J. Non-Cryst. Sol., 303, 218 (2002)
- L.N. Skuya, A.R. Silin. Phys. Status Solidi A, 70, 43 (1982)
- L.N. Skuya, A.N. Streletsky, A.B. Pakovich. Sol. St. Commun., 50, 1069 (1984)
- L.A. Bakaleinikov, M.V. Zamoryanskaya, E.V. Kolesnikova, V.I. Sokolov, E.Yu. Flegontova. Phys. Sol. St., 46 (6), 1018 (2004)
- M. Takeguchi, K. Furuya, K. Yoshinara. Jap. J. Appl. Phys., Pt. 1, 38 (12B), 7140 (1999)
- M.V. Zamoryanskaya, V.I. Sokolov. Sol. St. Phenomena, 108--109, 649 (2005)
- V.A. Gritsenko. Structure and electronic properties of amorphous dielectrics in silicon MIS structures (Novosibirsk, Nauka, 1993) p. 278
- Roushdey Salh, A. von Czarnowski, M.V. Zamoryankaya, E.V. Kolesnikova, H.-J. Fitting. Phys. Status Solidi A, 203 (8), 2049 (2006)
- M.S. Bresler, I.N. Yassievich. Semiconductors, 27, 475 (1993)
- C. Diaz-Guerra, D.A. Kurdyukov, J. Piqueras, V.I. Sokolov, M.V. Zamoryanskaya. J. Appl. Phys., 89 (5), 2720 (2001)
- M.V. Zamoryanskaya, V.I. Sokolov, V. Plotnikov. Appl. Surf. Sci., 234, 214 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук