Diagnostics of films and layers of nanometer thickness using middle energy ion scattering technique
Afrosimov V.V.1, Il'in R.N.1, Sakharov V.I.1, Serenkov I.T.1
1Ioffe Physicotechnical Institute of Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia
Поступила в редакцию: 16 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2007 г.
The paper presents a short description of thin film parameter study technique based on the analysis of energy and angular spectra of ions, back scattered from the film, with initial energies in 50-250 keV range as well as on the registration of characteristic X-ray radiation induced in the film under study by the probing ion beam. The technique is nondestructive one and makes it possible to determine geometrical parameters of the film, element composition and its change with depth, crystal structure quality of the film as a whole and of sublattices of definite elements. Some examples are given on this technique application for the study of multicomponent film structures at different stages of their growth. PACS: 61.18.Bn, 61.85.+p, 68.55.Jk, 68.55.Ln, 78.70.En, 82.80.Yc
- D. Huttner, O. Mayer, J. Reiner, G. Linker. Nucl. Instr. Meth B, 118, 578 (1996)
- D.V. Denisov, I.T. Serenkov, V.I. Sakharov, G.E. Tsyrlin. Phys. Sol. St., 45 (11), 2194 (2003)
- V.V. Afrosimov, R.N. Il'in, S.F. Karmanenko, A.A. Melkov, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov. Thin Sol. Films, 492, 146 (2005)
- V.V. Afrosimov, G.O. Dzyuba, R.N. Il'in, M.N. Panov, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov, E.A. Ganza. Techn. Phys., 41 (12), 1240 (1996)
- L.C. Feldman, J.W. Mayer, S.T. Picraux. Material Analysis by Ion Channeling (N.Y., Academic Press, 1982) Ch 5.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук