Вышедшие номера
Эффект ориентации поверхности кремния в модели объемного термического окисления
Александров О.В.1, Дусь А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 января 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

На основе объемной модели термического окисления кремния [О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 41 (11), 1400 (2008)] проведен анализ ориентационной зависимости скорости окисления кремния в сухом кислороде. Определены ориентационные и температурные зависимости коэффициента диффузии в напряженном диоксиде кремния и характеристического времени его релаксации. Орентационная зависимость коэффициента диффузии окислителя в диоксиде кремния на границе реакционной зоны, D1(110)>D1(111)>D1(100), связывается с ориентирующим влиянием монокристаллической подложки кремния на структуру и плотность прилегающего к нему диоксида кремния. Ориентационная зависимость характеристического времени релаксации, tau(100)>tau(110)>tau(111), обратно коррелирует с ориентационной зависимостью D1 для ориентаций (100) и (111) и прямо - с внутренними механическими напряжениями для ориентаций (110) и (111). PACS: 81.65.Ps, 81.05.Cy, 68.35.Md