Вышедшие номера
Получение текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира
Калтаев Х.Ш-о.1, Сидельникова Н.С.1, Нижанковский С.В.1, Данько А.Я.1, Ром М.А.1, Матейченко П.В.1, Добротворская М.В.1, Будников А.Т.1
1Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 7 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2009 г.

Показана возможность получения текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира в диапазоне температур 1200-1500oC в атмосфере азота с содержанием CO от 0.1 до 5 об%. Установлен диффузионный механизм формирования пленки нитрида алюминия на поверхности сапфира под воздействием восстановительной среды. PACS: 68.55.Ag, 81.05.Ea, 81.15.Np.