Орлов А.Ф.1, Балагуров Л.А.1, Кулеманов И.В.1, Пархоменко Ю.Н.1, Картавых А.В.2, Сарайкин В.В.3, Агафонов Ю.А.4, Зиненко В.И.4
1Государственный научно-исследовательский институт редкометаллической промышленности "ГИРЕДМЕТ", Москва, Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
3Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград, Россия
4Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
