Дефекты кристаллической структуры в слоях CdxHg1-xTe, выращенных на подложках из Si(310)
Якушев М.В.1, Гутаковский А.К.1, Сабинина И.В.1, Сидоров Ю.Г.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 28 декабря 2010 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
Методами просвечивающей электронной микроскопии и селективного травления исследована микроструктура слоев CdTe(310) и CdHgTe(310), выращенных молекулярно-лучевой эпитаксией на подложках из Si. Установлено, что в гетероструктурах CdHgTe/CdTe/ZnTe/Si(310) образование антифазных доменов определяется условиями формирования интерфейса ZnTe/Si. Создав условия, облегчающие адсорбцию цинка, возможно получение монодоменных слоев. Повышение температуры роста и давления паров Te2 вызывает появление антифазных доменов и увеличение их плотности вплоть до роста поликристалла. Обнаружено, что в гетероструктуре CdHgTe/Si(310) присутствуют дефекты упаковки, анизотропно распределенные в объеме выращенных слоев. Дефекты упаковки преимущественно лежат в одной плоскости (111), пересекающей поверхность (310) под углом 68o. Зарождение дефектов упаковки происходит на границе раздела ZnTe/Si(310). Обсуждаются причины образования дефектов упаковки и их анизотропного распределения.
- R.J. Koestner, H.F. Schaake. J. Vac. Sci. Technol. A, 6 (4), 2834 (1988)
- Y.S. Ryu, B.S. Song, T.W. Kang, T.W. Kim. J. Mater. Sci, 39, 1147 (2008)
- Ю.Г. Сидоров, С.А. Дворецкий, В.С. Варавин, Н.Н. Михайлов, М.В. Якушев, И.В. Сабинина. ФТП, 35 (9), 1092 (2001)
- Ю.Г. Сидоров, С.А. Дворецкий, Н.Н. Михайлов, В.С. Варавин, А.П. Анциферов, М.В. Якушев. Оптич. журн., 67 (1), 39 (2000)
- W. Kern, D.A. Puotinen. RCA Rev., 31, 187 (1970)
- D.B. Fenner, D.K. Biegelsen, R.D. Bringans. J. Appl. Phys., 66, 419 (1989)
- M. Inoue, J. Teramoto, S. Takayanagi. J. Appl. Phys., 33 (8), 2578 (1962)
- P. Mackett. In: Properties of Narrow Gap Cadmium-based Compounds, ed. by P. Capper (London, EMIS Data Review Series, 1944) v. 10, p. 188
- А.К. Гутаковский, А.В. Катков, М.И. Катков, О.П. Пчеляков, М.А. Ревенко. Письма ЖТФ, 24 (24), 7 (1998)
- R.D. Bringans, D.K. Beigelsen, L.-E. Swartz. Phys. Rev. B, 44 (7), 3054 (1991)
- L.A. Almeida, L. Hirsch, M. Martinka, P.R. Boyd, J.H. Dinan. J. Electron. Mater., 30 (6), 608 (2001)
- D.J. Hall, L. Buckle, N.T. Gordon, J. Giess, J.E. Hails, J.W. Cairns, R.M. Lawrence, A. Graham, R.S. Hall, C. Maltby, T. Ashle. Appl. Phys. Lett., 85 (11), 2113 (2004)
- M.E. Groenert, J.K. Markunas. J. Electron. Mater., 35 (6), 1287 (2006)
- A. Million, N.K. Dhar, J.H. Dinan. J. Cryst. Growth, 159, 76 (1996)
- R.D. Bringans, D.K. Beigelsen, J.E. Northrup, L.E. Swartz. Jpn. J. Appl. Phys., 32, 1484 (1983)
- R.D. Bringans, D.K. Beigelsen, L.-E. Swartz, F.A. Ponce, J.C. Tramontana. Phys. Rev. B, 45 (23), 13 400 (1992)
- D.N. Pridachin, M.V. Yakushev, Yu.G. Sidorov, V.A. Shvets. J. Appl. Surf. Sci., 142, 485 (1999)
- М.В. Якушев, Д.В. Брунев, К.Н. Романюк, А.Е. Долбак, А.С. Дерябин, Л.В. Миронова, Ю.Г. Сидоров. Поверхность, вып. 2, 41 (2008)
- А.А. Бабенко, В.С. Варавин, В.В. Васильев, Л.В. Миронова, Д.Н. Придачин, В.Г. Ремесник, И.В. Сабинина, Ю.Г. Сидоров, А.О. Сусляков. Прикл. физика, 4, 108 (2007)
- S. Miwa, L.H. Kuo, K. Kimura, A. Ohtake, T. Yasuda, C.C. Jin, T. Yao. J. Cryst. Growth, 184/185, 41 (1998)
- N. Wang, K.K. Fung, I.K. Sou. Appl. Phys. Lett., 77 (18), 2846 (2000)
- L.H. Kuo, K. Kimura, S. Miwa, T. Yasuda, T. Yao. J. Electron. Mater., 26 (2), 53 (1997)
- Y. Takagi, H. Yonezu, K. Samonji, T. Tsuji, N. Ohshima. J. Cryst. Growth, 187, 42 (1998)
- А.К. Гутаковский, С.И. Стенин. В кн.: Современная электронная микроскопия в исследовании вещества М., Наука, 1982, с. 139
- P.D. Brown, G.J. Russell, J. Woods. J. Appl. Phys., 66 (1), 129 (1989)
- Д.Н. Придачин, М.В. Якушев, Ю.Г. Сидоров, В.А. Швец. Автометрия, вып. 1, 104 (2005)
- М.В. Якушев, В.А. Швец, Ю.Г. Сидоров. Автометрия, вып. 3, 20 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.