Вышедшие номера
Влияние концентрации олова на состав, оптические и электрические свойства пленок ITO, осажденных методом ультразвукового спрей-пиролиза на кремний и стекло
Унтила Г.Г.1, Кост Т.Н.1, Чеботарева А.Б.1, Тимофеев М.А.1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 21 декабря 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.

С целью оптимизации свойств легированного оловом оксида индия (ITO) применительно к кремниевым солнечным элементам осаждали пленки толщиной ~100 нм методом ультразвукового спрей-пиролиза при температуре 380oC в аргоне на подложки (nn+)-Cz-Si и стекла, варьируя относительное содержание Sn и In в пленкообразующем растворе в диапазоне Sn/In=0-12 ат%. Оптимальные параметры показали пленки, полученные при Sn/In=2-3 ат% в растворе (в пленке Sn/(In+Sn)=5.2-5.3 ат%): эффективное поглощение пленок на стекле, взвешенное по солнечному спектру в диапазоне длин волн 300-1100 нм, составило 1.6-2.1%, слоевое сопротивление пленок на кремнии Rs=45-55 Ом/#, пленок на стекле Rs=165-175 Ом/#. Через 8 месяцев хранения на воздухе Rs оптимальных пленок не изменилось, Rs остальных пленок выросло: для пленок на кремнии до 2 раз, на стекле до 14 раз.