Методами многоугловой эллипсометрии (длина волны света 632.8 нм) и избирательного смачивания получены профили изменения показателя преломления, коэффициента экстинкции и контактного угла смачивания поверхности при послойном удалении кремния, имплантированного ионами ⁴⁰Ar⁺ (доза 10¹⁵ см^-2) и ³¹P⁺ (доза 10¹⁶ см^-2) с энергией 40 кэВ. Авторы считают, что изменение коэффициента поглощения и угла смачивания по глубине имплантированного образца соответствует профилю распределения дефектов. Профиль изменения показателя преломления обусловлен совместным влиянием дефектов и имплантированной примеси.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.