Исследована зависимость начальной скорости образования двойных термодоноров в кремнии, выращенном по методу Чохральского, от исходной концентрации кислорода N^O_oxy. Термообработка проводилась при 450^oC. Анализ оригинальных и литературных данных позволяет заключить, что эта скорость по-разному зависит от N^O_oxy при разных концентрациях кислорода. При низких значениях N^O_oxy (=<sssim 8· 10¹⁷ см^-3) скорость образования термодоноров растет практически линейно с ростом N^O_oxy, в то время как при N^O_oxy>~=8·10¹⁷ см^-3 она пропорциональна (N^O_oxy)⁴. Предполагается, что этот эффект обусловлен изменением характера распределения кислорода в исходных материалах вблизи критической концентрации кислорода (около 7· 10¹⁷ см^-3).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.