С использованием радиоактивной методики проведено исследование диффузионных профилей марганца в образцах кремния с различным равномерным содержанием кислорода (5·10¹⁵-10¹⁸ см^-3) а также в образцах, имеющих диффузионный профиль кислорода с падением его концентрации от 10¹⁸ до 10¹⁶ см^-3 и имеющих в объеме включения второй фазы - SiO₂. Содержание углерода в образцах Si составляло 10¹⁶-2·10¹⁷ см^-3. Диффузное насыщение образцов марганцем проводилось при 1200^oC в течение двух часов. Полученные результаты свидетельствуют о том, что изменение концентрации кислорода в образцах на два порядка не приводит к изменению общей концентрации (растворимости) марганца в кремнии. Не влияет на диффузионный профиль марганца и наличие в объеме образца частиц SiO₂.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.