Соболев М.М.1, Кочнев И.В.1, Папенцев М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 октября 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
Сообщается, что в эпитаксиальном n-слое Al0.3Ga0.7As, выращенном МОС-гидридным методом, обнаружен новый бистабильный дефект, несвязанный с DX-центром. Исследования производили C-V и DLTS-методами на AU-барьере Шоттки, с предварительным изохронным и изотермическим отжигом при двух условиях охлаждения - с приложенным напряжением обратного смещения U0=0 и с U0< 0. Стабильное состояние бистабильного дефекта с энергией термической активации E1=Ec-165 мэВ и сечением захвата электронов sigman=1.07· 10-13 см-2 наблюдается при условии изохронного отжига U0=0. Этот уровень близок по параметрам к E1 уровню, который образуется при радиационном облучении Al0.3Ga0.7As и связывается с дефектом V As. При изохронном отжиге с U0< 0 наблюдается метастабильный уровень бистабильного дефекта с E2=Ec-208 мэВ и sigman=2.54· 10-14 см2. Исследования показывают, что кинетика трансформации дефекта E1-> E2, 1-го порядка и обусловлена двумя ловушками E2 и E2* с различными темпами отжига. Сделано предположение, что этот дефект представляет собой комплекс, состоящий из вакансии мышьяка и примеси.
- M. Levinson, J.L. Benton, L. Kimerling. Phys. Rev. B, \bf 27, 6216 (1983)
- P. Mooney. J. Appl. Phys., 67, R1 (1990)
- T.N. Theis, P.M. Mooney, B.D. Parker. Electron J. Mater. \bf 20, 35, (1991)
- Y.B. Jia, M.F. Li, J. Zhou, J.L. Gao, M.Y. Kong, P.Y. Yu, K.T. Chan. J. Appl. Phys., \bf 66, 5632, (1989)
- P. Seguy, P.Y. Yu, M. Li, R. Leon, K.T. Chan. Appl. Phys. Lett., \bf 57, 2469, (1990)
- J. Kang, Q. Huang. J. Appl. Phys., 72, 1395, (1992)
- П.Н. Брунков, В.П. Евтихеев, С.Г. Конников, Е.Ю. Котельников, М.И. Папенцев, М.М. Соболев. ФТП, \bf 24, 1978, (1990)
- D.V. Lang, R.A. Longan, L.C. Kimerling. Phys. Rev. B, \bf 15, 4874, (1977)
- P.K. Bhattacharya, S. Dhar. Semicond. Semimet., 26, 143 (1988)
- A. Broniatowski, A. Blosse, P.C. Srivastava, J.C. Bourgoin. J. Appl. Phys., \bf 54, 2907 (1983)
- М.М. Соболев, А.В. Гитцович, М.И. Папенцев, И.В. Кочнев, Б.С. Явич. ФТП, \bf 26, 1760 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.