Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Псевдолегирование и отжиг аморфного гидрированного кремния

Голикова О.А.¹, Казанин М.М.¹, Мавлянов Х.Ю.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 1 февраля 1994 г.

Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Проведены исследования влияния отжига при температурах 300-390 ^oC на фотоэлектрические параметры псевдолегированных образцов a-Si:H. Показано, что термическая релаксация структурной сетки готовой пленки приводит к снижению концентрации оборванных связей и сдвигам уровня Ферми к середине щели подвижности так же, как уменьшение интенсивности бомбардировки растущей пленки частицами плазмы.

W.E. Spear, P.G. LeComber. Phil. Mag., 33, 935 (1976)
O.A. Golikova, A.M. Grekhov. Phys. St. Sol. B, \bf 155, 475 (1989)
О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, \bf 23, 1737 (1989)
J. Stuke. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 1 (1987)
G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
H. Nishio, G. Ganguly, A. Matsuda. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (1993)
О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
P. Roca, I. Cabarrocas, P. Morin, V. Chu, J.P. Conde, J.Z. Liu, H.R. Park, S. Wagner. J. Appl. Phys., \bf 69, 2942 (1991)
N. Hata, A. Matsuda. \it Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 125
R.A. Street, K. Winer. Phys. Rev. B, 40, 6236 (1989)
M. Silver, G. Winhorne, H. Branz, L. Pautmeier, H. Bassler. J. Non-Cryst. Sol., \bf 114, 244 (1989)
G. Schumm. Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель