Псевдолегирование и отжиг аморфного гидрированного кремния
Голикова О.А.1, Казанин М.М.1, Мавлянов Х.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Проведены исследования влияния отжига при температурах 300-390 oC на фотоэлектрические параметры псевдолегированных образцов a-Si:H. Показано, что термическая релаксация структурной сетки готовой пленки приводит к снижению концентрации оборванных связей и сдвигам уровня Ферми к середине щели подвижности так же, как уменьшение интенсивности бомбардировки растущей пленки частицами плазмы.
- W.E. Spear, P.G. LeComber. Phil. Mag., 33, 935 (1976)
- O.A. Golikova, A.M. Grekhov. Phys. St. Sol. B, \bf 155, 475 (1989)
- О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, \bf 23, 1737 (1989)
- J. Stuke. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 1 (1987)
- G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
- H. Nishio, G. Ganguly, A. Matsuda. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (1993)
- О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
- P. Roca, I. Cabarrocas, P. Morin, V. Chu, J.P. Conde, J.Z. Liu, H.R. Park, S. Wagner. J. Appl. Phys., \bf 69, 2942 (1991)
- N. Hata, A. Matsuda. \it Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 125
- R.A. Street, K. Winer. Phys. Rev. B, 40, 6236 (1989)
- M. Silver, G. Winhorne, H. Branz, L. Pautmeier, H. Bassler. J. Non-Cryst. Sol., \bf 114, 244 (1989)
- G. Schumm. Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 2
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
