Исследование гетероструктуры InGaAs/GaAs (100) методом рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения
Имамов Р.М.1, Ломов А.А.1, Сироченко В.П.1, Игнатьев А.С.1, Мокеров В.Г.1, Немцев Г.З.1, Федоров Ю.В.1
1Институт кристаллографии РАН, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 26 мая 1993 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Методом асимптотической брэгговской дифракции определены структурные характеристики и концентрация In в субмикронной (200 Angstrem) пленке InxGa1-xAs, выращенной методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложке GaAs (100). Экспериментально обнаружено наличие переходного слоя на границе пленка-подложка толщиной 20 Angstrem и предложена модель, объясняющая его возникновение.
- U.K. Mishra, A.S. Brown, S.E. Rosenbam, M.W. Pierce, M.J. Delaney, S. Vaughn, K. White. IEEE Electron. Dev. Lett., \bf EDL-9, 647 (1988)
- A. Fathimula, J. Abrahams, T. Loughran, H. Hier. IEEE Electron. Dev. Lett., \bf EDL-9, 328 (1988)
- S.H. Pan, H. Shen, Z. Hang, F.H. Pollak, W. Zhuang, Q. Xu, A.P. Roth, R.A. Masut, C. Lacelle, D. Morris. Phys. Rev. B, \bf 38, 3375 (1988)
- P.P. Ruden, M. Shur et al. IEEE Trans. Electron. Dev., \bf ED-36, 2371 (1989)
- D.C. Bertolet, Y.K. Hsu, F. Agahi, K.M. Lau. J. Electron. Matter., \bf 19, 967 (1990)
- J.H. van der Merwe. J. Electron. Matter., \bf 20, 793 (1991)
- K. Rajan, E. Fitzgerald, K. Jagannadham. J. Electron. Matter., \bf 20, 861 (1991)
- E.M. Cirlin, I. Vajo, R.E. Doty, T.C. Hasenberg. J. Vac. Sci. Techn. A, \bf 9, 1395 (1991)
- А.М. Афанасьев, П.А. Александров, Р.М. Имамов. \it Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев (М., Наука, 1989)
- J. Hornstra, W.J. Bartels. J. Cryst. Growth, \bf 44, 513 (1978)
- M.A. Herman, D. Bimberg, J. Christen. J. Appl. Phys., \bf 70, N 2, R1 (1992)
- П.А. Александров, А.М. Афанасьев, М.К. Мелконян. Кристаллография, \bf 26, 1275 (1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.