Аморфный гидрированный карбид кремния, полученный магнетронным реактивным распылением
Рогачев Н.А.1, Кузнецов А.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Магнетронным реактивным распылением мишеней из кристаллического кремния, углерода и карбида кремния в атмосферах аргона, водорода, метана и силана получены пленки гидрированного аморфного карбида кремния различного состава. Установлены сходства и особенности пленок для трех типов мишеней. Пленки SiC:H стехиометрического состава для всех мишеней имеют близкие значения E optg и показателя преломления n, измеренного на lambda=0.633 мкм, - 2.1 эВ и 2.25 соответственно. В то же время данные ИК абсорбционной спектроскопии свидетельствуют о наличии существенных различий природы связей и структурных конфигураций слоев.
- R.S. Sussman, R. Ogden. Phil. Mag. B, 44, 137 (1981)
- H. Rubel, B. Schroder, W. Fuhs, J. Krauskorf, T. Rupp, K. Bethge. Phys. St. Sol. B, \bf 131, 131 (1987)
- H. Wieder, M. Cardona, C.R. Guarnieri. Phys. St. Sol. B, \bf 92, 99 (1979)
- K. Hoshikawa, H. Konda, K. Ikuta. Japan. J. Appl. Phys., \bf 20, 241 (1981)
- R.C. Newman. \it Infrared Studies of Crystal Defects (London, Taylor and Francis, 1973)
- F.A. Cotton, G. Wilkinson. \it Advanced Inorganic Chemistry (N.Y., Wiley, 1972)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
