Вышедшие номера
Влияние отжига в водороде и ионизирующей радиации на электрофизические параметры границы Si--SiO 2: эксперимент и модели
Емельянов А.М.1, Голубев В.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.

Изучено влияние циклов отжига в водороде и gamma-облучения на электрофизические параметры границы Si-SiO2 МОП структур с термическими пленками SiO2, полученными в ''сухом'' O2. После отжига в водороде в структурах отсутствовала ''память'' о предшествующем gamma-облучении. Развиты модельные представления о механизмах генерации и аннигиляции поверхностных состояний. В соответствии с результатами настоящей статьи генерации поверхностных состояний связана с радиолизом включений воды в объеме SiO2 и распадом групп =Si-H на границе Si-SiO2 при участии радиолитических ионов H+. Предложенные модели качественно объясняют уменьшение плотности поверхностных состояний, вызванное ионизирующим облучением.