Электронные свойства реальной и сульфидированной поверхности GaAs
Венгер Е.Ф.1, Кириллова С.И.1, Примаченко В.Е.1, Чернобай В.А.1
1Институт физики полупроводников Академии наук Украины,, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 1 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.
Методом температурных и электрополевых зависимостей поверхностной фотоэдс исследованы электронные свойства поверхностей арсенида галлия n-типа (111)Ga и (111)As после стандартной их обработки, а также после сульфидирования в водном растворе Na2S· 9H2O. На реальных поверхностях обнаружены N-образные зависмости поверхностного потенциала varphis при понижении температуры в пределах 300-100 K, что связано с заполнением поверхностных электронных состояний электронами и перестройкой самой системы этих состояний, вызывающей нарушение пиннинга уровня Ферми на поверхности. После сульфидирования GaAs зависимости varphis(T) изменяются. На состаренных сульфидированных поверхностях при понижении температуры не происходит перестройки спектра состояний и нарушения пиннинга уровня Ферми. При комнатной температуре на рельной и сульфидированной поверхностях получено U-подобное распределение плотности поверхностных состояний Ns по энергии в запрещенной зоне с минимумом вблизи положения уровня Ферми на поверхности. Сульфидирование уменьшает величину Ns в минимуме и смещает положение минимума ближе к валентной зоне. Исследован эффект фотопамяти потенциала varphis, связанный с захватом дырок на поверхностные ловушки при освещении GaAs. Сульфидирование уменьшает концентрацию глубоких ловушек на обеих поверхностях GaAs.
- Н.Л. Дмитрук. Изв. вузов СССР. Физика, вып. 1, 38 (1980)
- Н.Л. Дмитрук., О.И. Маева. Оптоэлектрон. полупр. техника, вып. 17, 29 (1990)
- В.И. Белый, В.Р. Белослудов. В кн.: \it Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников (Новосибирск, 1988)
- W.E. Spicer, P.W. Chye, P.R. Skeath, C.Y. Su, I. Lindau. J. Vac. Sci. Technol., 16, 1422 (1979)
- J.L. Freeouf, J.M. Woodall. Appl. Phys. Lett., 39, 727 (1981)
- H. Hasegawa, T. Sawada. Thin Sol. Films, 103, 119 (1983)
- H. Hasegawa, H. Ohno. J. Vac. Sci. Technol. B, 4, 1130 (1986)
- C.J. Sandroff, R.N. Nottenbure, J.C. Bischoff, R. Bhat. Appl. Phys. Lett., 51, 33 (1987)
- R. Iyer, R.R. Chang, D.L. Lile. Appl. Phys. Lett., 53, 134 (1988)
- В.Л. Берковиц, В.Н. Бессолов, Т.В. Львова, Е.Б. Новиков, В.И. Сафаров, Р.В. Хасиева, Б.В. Царенков. ФТП, 25, 1406 (1991)
- Б.И. Бедный, Н.В. Байдусь, Т.В. Белич, И.А. Карпович. ФТП, 26, 1383 (1992)
- M. Sugiyama, S. Maeyama, M. Oshima, H. Oigawa, Y. Nannichi, H. Hashizuma. Appl. Phys. Lett., 60, 3247 (1992)
- A.S. Weling, K.K. Kamath, P.R. Vaya. Thin Sol. Films, 215, 179 (1992)
- V.E. Primachenko, O.V. Snitko, V.V. Milenin. Phys. St. Sol., 11, 711 (1965)
- Н.Л. Дмитрук, В.И. Ляшенко, А.К. Терещенко. УФЖ, 17, 1356 (1972)
- В.Е. Примаченко, О.В. Снитко. \it Физика легированной металлами поверхности полупроводников (Киев, 1988)
- А.В. Саченко, О.В. Снитко. \it Фотоэффекты в приповерхностных слоях полупроводников (Киев, 1984)
- С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, О.В. Снитко, В.А. Чернобай. Поверхность, вып. 12, 85 (1990)
- С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, О.В. Снитко, В.А. Чернобай. Оптоэлектрон. полупр. техника, вып. 20, 15 (1991)
- С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, В.А. Чернобай, О.В. Снитко. Поверхность, вып. 11, 74 (1991)
- С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, Г.Ф. Романова, П.И. Диденко, В.А. Чернобай. Микроэлектроника, 22, вып. 3, 51 (1993)
- С.Ф. Авраменко, Е.Ф. Венгер, С.И. Кириллова, В.С. Киселев, В.Е. Примаченко, О.Т. Сергеев, В.А. Чернобай. УФЖ, 38, 268 (1993)
- С.Ф. Авраменко, Е.Ф. Венгер, С.И. Кириллова, В.С. Киселев, В.Е. Примаченко, О.Т. Сергеев, В.А. Чернобай. Поверхность, вып. 6, 89 (1993)
- K.P. O'Donnell, X. Chen. Appl. Phys. Lett., 58, 2924, (1991)
- В.Н. Овсюк, А.В. Ржанов. ФТП, 3, 294 (1969)
- Ю.А. Зарифьянц, В.Ф. Киселев, С.Н. Козлов, Ю.Ф. Новотоцкий-Власов. Вестн. МГУ. Физика, N 1, 84 (1975)
- К. Хилсум, А. Роуз-Инс. \it Полупроводники типа A^3B^5 (М., 1963)
- T. Scimeca, Y. Muramatsu, M. Oshima, H. Oigawa, Y. Nannichi. Phys. Rev. B, 44, 12927 (1991)
- T. Ohno. Phys. Rev. B, 44, 6306 (1991)
- Y.W. Lam. J. Phys. D: Appl. Phys., 4, 1370 (1971)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.