Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование структуры поверхности пористого кремния методом ядерного магнитного резонанса

Мамыкин А.И.¹, Ильин А.Ю.¹, Мошников В.А.¹, Мокроусов Н.Е.², Мамыкин А.А.¹, Першин А.И.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

²Институт микроэлектроники Российской академиии наук,, Ярославль, Россия

Поступила в редакцию: 18 января 1995 г.

Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методом ядерного магнитного резонанса исследованы процессы сорбции молекул воды в слоях пористого кремния для датчиков влажности. Показано, что молекулы воды могут служить чувствительным зондом при изучении структуры и поверхностных свойств пористого кремния. Установлено, что наряду с нанопорами, средний диаметр которых (10-30) нм, слои пористого кремния пронизаны сетью субнанопор со средним диаметром 1.4 нм. Идентифицировано два типа сорбированных пористой поверхностью монослоев воды, в формировании которых доминирующую роль играют субнанопоры.

H.Pfeifer. Phys. Rep., 26, 293 (1976)
Б.Ф. Алексеев, Ю.Ф. Анисимов, А.И. Мамыкин. ПТЭ, N 4, 245 (1985)
В.В. Чистяков, В.Н. Палашов, Н.Е. Мокроусов. \it Тр. ИМ РАН (Ярославль, 1992) с. 100
A.I. Mamykin, A.J. Iljin, V.A. Moshnokov, A.I. Pershin. \it Abstracts of E-MRS 1994 Spring Meeting (Strassbourg, France, 1994) F-V/P14
И.И. Речина, Е.Г. Гук. ФТП, 27, 728 (1993)
М.С. Бреслер, И.Н. Яссиевич. ФТП, 27, 871 (1993)
A.I. Mamykin, A.J. Iljin, V.A. Moshnikov, A.I. Pershin. \it Abstracts of EENC-94 (Oulu, Finland, 1994) p. 93

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель