Вышедшие номера
Кинетика пассивации поверхности GaAs (100) в водных растворах сульфида натрия
Бессолов В.Н.1, Иванков А.Ф.1, Коненкова Е.В.1, Лебедев М.В.1, Стрыканов В.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Изучалось изменение интенсивности фотолюминесценции GaAs (100) после пассивации поверхности в водных растворах сульфида натрия в зависимости от времени обработки, температуры и состава сульфидного раствора. Показано, что с увеличением времени обработки в сульфидном растворе интенсивность максимума фотолюминесценции сначала возрастает, а затем выходит на насыщение, причем время выхода на насыщение зависит от щелочности раствора и от концентрации в нем сульфид-ионов. При фиксированном времени обработки интенсивность максимума фотолюминесценции возрастает с увеличением температуры сульфидирования. Данные рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии сульфидированных поверхностей, во-первых, показывают наличие связей Ga-S и, во-вторых, указывают на уменьшение содержания окислов мышьяка на поверхности полупроводника с увеличением температуры сульфидирования. Возрастание интенсивности фотолюминесценции при сульфидной пассивации связывается главным образом с уменьшением содержания этих окислов.