О возникновении кристаллитов beta-фазы в пористых слоях карбида кремния
Данишевский А.М.1, Шуман В.Б.1, Рогачев А.Ю.1, Гук Е.Г.1, Иванов П.А.1, Мальцев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 сентября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.
Методами фотолюминесцентной, а также колебательной спектроскопии (рамановское рассеяние, отражение в инфракрасной области спектра) исследованы образцы пористого SiC, полученные из одной кристаллической пленки 6H-SiC n-типа проводимости (n0=1017 см-3). Показано, что эффективная фотолюминесценция в диапазоне (2.5-2.8) эВ при межзонном возбуждении возникает на тех образцах, на которых хорошо обнаруживается нанокристаллическая фаза beta-SiC, появляющаяся на поверхности пор при определенных режимах анодного травления. Сделан вывод о связи наблюдаемой фотолюминесценции именно с возникновением указанной фазы beta-SiC. Сдвиг спектрального максимума фотолюминесценции в сторону больших энергий (по сравнению с кристаллическим политипом 3C-SiC) объясняется квантово-размерными эффектами.
- J.S. Shor, I. Grimberg, B.Z. Weiss, A.D. Kurtz. Appl. Phys. Lett., 62, 2836 (1993)
- T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Futaki, H. Mimura, Y. Kanemitsu. Appl. Phys. Lett., 64, 226 (1994)
- A.O. Konstantinov, C.I. Harris, E. Yanzen. Appl. Phys. Lett., 65, 2699 (1994)
- J.S. Shor, L. Bemis, A.D. Kurtz, M. Macmillan, W.J. Choyke, I. Grimberg, B.Z. Weiss. In:\it Silicon Carbide and Related Materials, ed. by M.G. Spencer et al. Inst. Phys. Conf. Ser. N 137 (IOP, Bristol, 1993) p. 193
- А.А. Лебедев, А.А. Лебедев, Ю.В. Рудь. Письма в ЖТФ, 21, 64 (1995)
- A.O. Konstantinov, A. Henry, C.I. Harris, E. Yanzen. Appl. Phys. Lett., 66, 2250 (1995)
- А.М. Данишевский, В.Б. Шуман, А.Ю. Рогачев, П.А. Иванов. ФТП, 29, 2122 (1995)
- M. Ikeda, T. Mayakawa, S. Yamagiva, H. Matsunami, T. Tanaka. J. Appl. Phys., 50, 8215 (1979)
- В.В. Макаров. ФТТ, 13, 2357 (1971)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.