Пленки a-Si:H, осажденные при повышенных температурах методом разложения силана на постоянном токе в магнитном поле
Голикова О.А.1, Кузнецов А.Н.1, Кудоярова В.Х.1, Казанин М.М.1
1Физико-техничекий институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
Метод разложения силана на постоянном токе в магнитом поле впервые испытан для получения пленок нелегированного a-Si:H при температурах осаждения 300/400oC. Показано, что оптимизация параметров процесса позволяет получить материал приборного качества с содержанием водорода до 2 ат%. Примененный метод обеспечивает варьирование значения микроструктурного параметра R, характеризующего соотношение SiH- и SH2-связей, в интервале 0-1.0.
- О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
- G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3881 (1993)
- U. Kroll, J. Maier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shah, Ch. Hollenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
- N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
- V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldin. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 71 (1993)
- R. Zedlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 83 (1993)
- M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 191 (1991)
- J.R. Liang, N. Maley, J.R. Abelson. J. Appl. Phys., 75, 3704 (1994)
- R. Meaudre, M. Meaudre, S.Vignoli, P. Roca i Cabarrocas, Y. Bouizem, M.L. Theve. Phil. Mag. B, 67, 4978 (1993)
- S.J. Jones, Y. Chen, D.L. Willamon, U. Kroll, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 119 (1993)
- F.D. Emichelis, A. Tagliaferro. Phil. Mag. B, 61, 867 (1990)
- V. Marachonov, N.A. Rogachev, E.I. Terukov, J.T. Ishkalov, V.E. Chelnokov. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 817 (1991)
- R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S. Nag, R.W. Collins, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
- W. Grevendonk, M. Verluyten, J. Dauwen, G.J. Adriaenssens, J. Bezemer. Phil. Mag. B, 61, 393 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук