Влияние водорода на процесс аннигиляции пар Френкеля в кремнии. Квантово-химическое исследование
Назаров А.Н.1, Лысенко В.С.1, Пинчук В.М.2, Янчук Т.В.2
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Киевский политехнический институт, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 23 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.
Проведены расчеты (методом самосогласованного поля молекулярных орбиталей с линейной комбинацией атомных орбиталей) в валентном приближении частичного пренебрежения диатомным дифференциальным перекрытием энергетических барьеров, которые необходимо преодолеть при образовании пар Френкеля и их аннигиляции в кремниевой решетке, насыщенной водородом. Расчеты проводились при оптимизации геометрии идеального кристалла кремния, кластера с вакансией и кластера с вакансией и различным числом атомов водорода. Показано: 1) водород вблизи вакантного узла предпочтительно локализуется во второй координационной сфере; 2) наличие водорода вблизи вакансии приводит к значительному понижению величины потенциального барьера для аннигиляции пары Френкеля; 3) зарядовое состояние водорода (H0, H+, H-) существенно влияет на величину потенциального барьера. Определена величина релаксации решетки в области вакансии в зависимости от наличия и зарядового состояния водорода. Расчет подтвердил ранее предложенную модель ускоренного отжига вакансионного дефекта в кремнии с водородом и наблюдаемые экспериментальные результаты.
- S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 47, 153 (1987)
- R. Singh, S.J. Fonash, A. Rohatgi, P.R. Choudhury, J. Gigante. J. Appl. Phys., 55, 867 (1984)
- M.Ya. Valakh, V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, G.Yu. Rudko, A.S. Tkachenko, N.I. Shakhraychuk. Nucl. Instr. Meth. B, 44, 146 (1989)
- Guagang Qin, Zongla Hua. Sol. St. Commun., 53, 975 (1985)
- V.S. Lysenko, M.M. Lokshin, A.N. Nazarov, T.E. Rudenko. Phys. St. Sol. (a), 88, 705 (1985)
- H.J. Steine, S.K. Hahn. Appl. Phys. Lett., 56, 63 (1990)
- V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, S.A. Valiev, I.M. Zaritskii, T.E. Rudenko, A.S. Tkachenko. Phys. St. Sol. (a), 113, 653 (1989)
- В.А. Губанов, В.П. Жуков, А.О. Литинский. \it Полуэмпирические методы молекулярных орбиталей в квантовой химии (М., 1976)
- В.М. Пинчук. Журн. физ. химии, 60, 2318 (1986)
- А.М. Грехов, В.М. Гунько, Г.М. Клапченко, Ю.П. Тсященко. ФТТ, 27, 285 (1985)
- P. Deak, M. Heinrich, L.C. Snyder, J.W.Corbett. Mater. Sci. Eng. B, 4, 57 (1989)
- H. Xu. Phys. Rev. B, 46, 1403 (1992)
- S. Estreicher. Phys. Rev. B, 36, 9122 (1987)
- S.V. Koveshnikov, S.V. Nosenko, A.M. Surma. Sol. St. Phenomena, 19, 265 (1991)
- M.Ya. Valakh, V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, G.Yu. Rudko, N.I. Shakhraychuk. Phys. St. Sol. (a), 130, 45 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук