Проведены ИК спектрометрические исследования изменения концентрации узлового бора (B₈) и фосфора (P₈) в узлах решетки кремния при облучении электронами с энергией 3.5 МэВ в температурном интервале 20/ 700^oС. Показано, что во всем диапазоне температур концентрация легирующих примесей в узлах с дозой облучения уменьшается. Анализ результатов для температур облучения ниже и выше температуры отжига вакансионных комплексов с легирующими примесями позволяет сделать вывод об эффективном взаимодействии атомов B₈ и P₈ с междоузельными атомами кремния во всем исследованном температурном интервале. Отсутствие изменений концентрации B₈ и P₈ при T <= 700^oС свидетельствует о достижении стационарной концентрации примесей в узлах и междоузлиях для данных условий облучения.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.