Методом оптической поляризации ядерных моментов (ОПЯ) исследовались процессы совмещенного геттерирования в условиях варьирования параметрами окисления, термообработки и диффузии легирующих примесей в кремнии n-типа. Были определены размеры и концентрация геттерирующнх микродефектов, ответственных за возникновение неоднородно распределенных мелких и глубоких точечных центров. Показано, что, управляя потоками первичных дефектов, генерируемых поверхностью окисленного кремния, можно значительно изменять характеристики геттерирующнх микродефектов и тем самым существенно повысить эффективность процессов совмещенного геттерирования.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.