Пространственное распределение зарядов, прогенерированных туннельной инжекцией электронов из кремния в термический диоксид МДП структуры
Солдатов В.С., Воеводин А.Г., Варлашов И.Б., Коляда В.А., Соболев Н.В.
Выставление онлайн: 20 августа 1990 г.
С помощью разработанной методики расчета пространственного распределения заряда в диэлектрике МДП структур по их фотоинжекционным характеристикам исследовано распределение зарядов, возникающих после туннельной инжекции электронов в структурах Mo-SiO2-Si, пассивированных фосфорно-силикатным стеклом (ФСС). Показано, что в ФСС накапливается отрицательный заряд. Положительный заряд генерируется у границы Si-SiO2. Получены пространственные распределения зарядов обоих знаков.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.