Эффективность введения электронных ловушек в арсениде галлия при высокотемпературном облучении электронами
Козловский В.В.1, Кольченко Т.И.1, Ломако В.М.1
1Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко при БГУ им. В.И. Ленина, Минск
Выставление онлайн: 19 июня 1991 г.
С помощью измерений емкостной спектроскопии в GaAs с n0= 1015-2.5· 1017 см-3 исследовалось влияние температуры облучения в на эффективность введения электронных ловушек в интервале 20=< Theta =< 550oC. Установлено, что при в Theta >~= 250oC, когда E-ловушки термически нестабильны, основной вклад в изменение свойств материала вносят ловушки X1 и X2 с Ea~ 0.38 и Ea=0.76 эВ соответственно. Изменений энергетического спектра X-ловушек в зависимости от метода выращивания материала (эпитаксиальный, Чохральского), уровня его легирования и типа легирующей донорной примеси (S, Te) не наблюдалось. Показано, что в интервале Theta = 20-550oC эффективность введения ловушки X2 практически не меняется, а эффективность введения X1 существенно зависит от величины Theta. Предполагается, что рост скорости введения X1, наблюдаемый в нелегированных слоях [n0~ (1/ 3)· 1015 см-3] при Theta =300-400oC, обусловлен изменением зарядового состояния дефекта, а последующий спад при более высоких Theta - отжигом центра. Указывается на возможную связь ловушки X1 с одним из зарядовых состояний вакансии As.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.