Исследованы флуктуации удельного сопротивления в кремнии p-типа проводимости, легированном алюминием методом ядерных реакций под действием gamma-квантов при концентрациях вводимых атомов до 10¹⁴ см^-3. Для ядерного легирования в качестве исходных использовались промышленные монокристаллы n- и p-типа проводимости диаметром от 30 до 82 мм. Облучение кремния gamma-квантами тормозного излучения проводилось на линейном ускорителе электронов "Факел" при максимальной энергии gamma-квантов ~35 МэВ. С помощью четырехзондового метода и метода сопротивления растекания в точечном контакте были измерены профили распределения величин удельного сопротивления на торцевых поверхностях монокристаллов gamma-легированного кремния (ГЛК). Рассмотрена зависимость величин разброса удельного сопротивления ГЛК от типа проводимости исходных материалов и степени легирования. Показано, что методика gamma-легирования позволяет получать монокристаллы кремния p-типа проводимости с макро- и микронеоднородностями удельного сопротивления на уровне нескольких процентов.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.