Вышедшие номера
Изменение оптических свойств пористого кремния вследствии термического отжига в вакууме
Киселев В.А.1, Полисадин С.В.1, Постников А.В.1
1Институт микроэлектроники Российской академии наук, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 4 июля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Определены оптические константы слоев пористого кремния в диапазоне 600/800 нм и исследовано влияние на них термического отжига в вакууме. Изменение комплексного показателя преломления связано с десорбцией реагентов и продуктов электрохимической обработки кремния. Установлено, что при нагреве до 600 oC температурный коэффициент изменения отражения слоя пористого кремния на длине волны 633 нм не превышает 10-6.