Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению
Филиппов В.В.1, Бондаренко В.П.2, Першукевич П.П.1
1Институт физики Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
2Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 18 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.
Исследованы спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пленок пористого кремния исходной пористости 50-60%, приготовленных на монокристаллах кремния p-типа проводимости и подвергнутых анодному окислению и химическому травлению. Установлено, что присутствующая в травленном пористом кремнии аморфная фаза не проявляется в спектрах фотовозбуждения, но оказывает влияние на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Показано, что особенности спектров фотовозбуждения до и после травления, а также эволюция спектров фотолюминесценции и фотовозбуждения после травления могут быть интерпретированы в рамках модели равномерного квантования, в которой учитываются упругие напряжения в кремниевых кристаллах пористого кремния.
- L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
- R. Kumar, Y. Kitochi, K. Hara. Appl. Phys. Lett., 63, 3032 (1993)
- J.M. Lavine, S. Sawan, Y.T. Shieh, A.J. Balezza. Appl. Phys. Lett., 62, 1099 (1993)
- K.H. Jung, S. Shin, D.L. Kwong, C.C. Cho, B.E. Gnade. Appl. Phys. Lett., 61, 2467 (1992)
- S.M. Prokes, W.E. Carlos, P.M. Bermudez. Appl. Phys. Lett., 61, 1447 (1992)
- Y.M. Weng, Zn.M. Fan, X.F. Zong. Appl. Phys. Lett., 63, 168 (1993)
- S. Shih, K.H. Jung, D.L. Kwong, M. Kovar, J.M. White. Appl. Phys. Lett., 62, 1904 (1993)
- J. Vial, F. Bsiesy, F. Gaspard, R. Herino, M. Ligeon, F. Muller, R. Romestain, R. Macfarlane. Phys. Rev. B, 45, 14171 (1992)
- M.B. Robinson, A.C. Dillon, S.M. George. Appl. Phys. Lett., 62, 1493 (1993)
- V.V. Filippov, P.P. Pershukevich, V.P. Bondarenko, A.M. Dorofeev. Phys. St. Sol. (b), 184, 573 (1994)
- Y.G. Chabal, G.S. Higashi, N. Raghavachari, V.A. Burrows. J. Vac. Sci. Techn. A, 7, 2104 (1989)
- W.B. Pollard, G. Lucowski. Phys. Rev. B, 26, 3172 (1982)
- M.H. Bordski, M. Cardona, J.J. Cuomo. Phys. Rev. B, 26, 3356 (1977)
- Y. Ogata, H. Niki, T. Sakka, M. Iwasaki. J. Electrochem. Soc., 42, 195 (1995)
- M.S. Brandt, H.D. Fuchs, M. Stutzmann, J. Weber, M. Cardona. Sol. St. Commun., 81, 307 (1992)
- A. Nakajima, T. Itakura, S. Watanable, N. Nakayama. Appl. Phys. Lett., 61, 46 (1992)
- T. Motohiro, T. Kachi, F. Miura, Y. Takeda, S. Hyodo, S. Noda. Jpn. J. Appl. Phys., 31, L207 (1992)
- N. Ookubo. J. Appl. Phys., 74, 6375 (1993)
- Y.H. Xie, W.L. Wilson, F.M. Ross, J.A. Mucha, E.A. Fitzgerald. J. Appl. Phys., 71, 2403 (1992)
- J. Shah, A. Pinczuk, F.B. Alexander, B.G. Bagley. Sol. St. Commun., 42, 717 (1982)
- D.E. Aspnes, A.A. Studnia. Phys. Rev. B, 27, 985 (1983)
- N. Koshida, H. Koyama, Y. Yamamoto, G.J. Collins. Appl. Phys. Lett., 63, 2655 (1993)
- G.D. Sanders, Y.C. Chang. Phys. Rev. B, 45, 9202 (1002)
- F. Buda, J. Kohanoff, M. Parrinello. Phys. Rev. Lett., 69, 1272 (1992).
- Л.П. Авакянц, В.М. Авдохина, Г.Б. Демидович и др. Поверхность, вып. 5, 94 (1989)
- А.Н. Старухин, А.А. Лебедев, Б.С. Разбирин, Л.М. Капитонова. Письма ЖТФ, 18, 160 (1992)
- G. Renand, P. Fuoss, A. Ourmazd, J. Bevk, B. Freer, P. Hahn. Appl. Phys. Lett., 58, 1272 (1991)
- T. Konishi, K. Uesugi, K. Takoka, S. Kawano, M. Yoshimuta, T. Yao. Jpn. J. Appl. Phys., 32, 3131 (1993)
- N. Noduchi, I. Suemune, M. Yamanishi. Jpn. J. Appl. Phys., 31, L490 (1992)
- F. Koch. Microelectronic Engeneering, 28, 237 (1995)
- T. George, M.S. Anderson, W.T. Pike, T.L. Lin, R.W. Fathaner, K. Jung, D.L. Kwong. Appl. Phys. Lett., 60, 2354 (1992)
- J.P. Perez, J.V. Malobes, P. McNeill, J. Prosad, R. Cheek, J. Kelber, J.P. Estrera, P.D. Stevens, R. Glosser. Appl. Phys. Lett., 61, 563 (1992)
- D.T. Pierce, W.E. Spicer. Phys. Rev. B, 5, 3017 (1972)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.