Вышедшие номера
Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению
Филиппов В.В.1, Бондаренко В.П.2, Першукевич П.П.1
1Институт физики Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
2Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 18 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Исследованы спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пленок пористого кремния исходной пористости 50-60%, приготовленных на монокристаллах кремния p-типа проводимости и подвергнутых анодному окислению и химическому травлению. Установлено, что присутствующая в травленном пористом кремнии аморфная фаза не проявляется в спектрах фотовозбуждения, но оказывает влияние на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Показано, что особенности спектров фотовозбуждения до и после травления, а также эволюция спектров фотолюминесценции и фотовозбуждения после травления могут быть интерпретированы в рамках модели равномерного квантования, в которой учитываются упругие напряжения в кремниевых кристаллах пористого кремния.