Вышедшие номера
Исследование пористого кремния, полученного имплантацией ионов криптона и лазерным отжигом
Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Буйнова Э.Ю.1, Штырков Е.И.1, Бухараев А.А.1
1Казанский физико-технический институт Российской академии наук, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 20 августа 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Эллипсометрическим методом исследован процесс образования мелкопористого слоя, насыщенного атомами инертного газа, в кристаллической решетке кремния, легированного большими дозами криптона, а затем облученного наносекундными лазерными импульсами. Изучено изменение комплексного показателя преломления в этом слое под действием лазерных импульсов разной мощности. С помощью сканирующего силового микроскопа прослежена трансформация пор в зависимости от плотности энергии лазерного отжига и оценены их размеры.