Соболев Н.А.1, Емельянов А.М.2, Николаев Ю.А.1, Вдовин В.И.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
3Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия