Вышедшие номера
Мультисвязи в безводородном аморфном кремнии
Машин А.И.1, Хохлов А.Ф.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 13 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1999 г.

Приведены результаты исследований структуры ближнего порядка и электронного парамагнитного резонанса аморфного кремния, полученного сублимацией в вакууме и методом ионной имплантации. Отмечается, что при отжиге напыленного кремния при 500oC или при облучении монокристалла кремния неоном дозой более или порядка 1017 см-2 формируется аморфный кремний с атомами в sp2-гибридном состоянии. В последнем случае аморфный материал неоднороден по глубине и содержит слоистую структуру из кремниевых атомов с периодом 5.16 Angstrem. В обоих случаях наблюдается сигнал электронного парамагнитного резонанса с g-фактором g~= 2.0048, соответствующим оборванной связи атома кремния в sp2-состоянии.