Фотоемкостной эффект в монополярном металл--диэлектрик--полупроводник конденсаторе при низких температурах
Поступила в редакцию: 13 октября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
Теоретически исследован фотоемкостной эффект в монополярном МДП конденсаторе при оптической ионизации примесных атомов в полупроводниковом электроде при низких температурах. Выведены аналитические выражения для характеристик емкость-напряжение и фотоемкость-напряжение для МДП конденсатора с электродом из полупроводника p-типа. Показано, что зависимость фотоемкостной чувствительности от напряжения смещения имеет вид относительно узкого пика, величина и положение которого на оси напряжений зависит от концентрации донорной примеси. Представлены емкостные и фотоемкостные характеристики для МДП конденсатора с электродом из кремния, легированного индием.
- R.F. Pierret, S.T. Sah. Sol. St. Electr., 13, 269, 289 (1970)
- A.V. Sachenko, V.A. Zuev, V.G. Litovchenko, P. Peikov. Phys. St. Sol. (a), 21, 345 (1974)
- Н.Ф. Ковтонюк. ФТП, 9, 2386 (1975)
- В.Г. Литовченко, А.П. Горбань. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик-полупроводник (Киев, Наук. думка, 1978) гл. 6. c. 167
- A. Sher, Y.H. Tsuo, John A. Moriatry, W.E. Miller, R.K. Grouch. J. Appl. Phys., 51, 2137 (1980)
- А.А. Лебедев, Н.А. Соболев, В. Экке. ФТП, 15, 1438 (1981)
- В.А. Зуев, В.Г. Попов. Фотоэлектриеские МДП приборы (М., Радио и связь, 1983) гл. 4, с. 89
- Н.Ф. Ковтонюк, Е.Н. Сальников. Фоточувствительные МДП приборы для преобразования изображений (М., Радио и связь, 1990) гл. 1, с. 8
- Н.А. Пенин. ФТП, 17, 431 (1983)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.