Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности поведения кислорода в кремнии, легированном оловом
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина 
Поступила в редакцию: 25 февраля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.
Проводится исследование влияния олова на спектры поглощения кислорода и на процессы образования низкотемпературных термодоноров (T=450oC) в кремнии. Проводится сравнение с влиянием германия и углерода. Обнаружено, что легирование кремния оловом, подобно легированию германием и углеродом, приводит к снижению эффективности образования термодоноров. Показано, что эффект подавления образования термодоноров зависит от величины упругих напряжений, создаваемых изовалентными примесями в кремнии: чем больше деформационный заряд примеси, тем при меньших концентрациях наблюдаются сравнимые эффекты.
- G.D. Watkins. Trans. IEEE. NS-16, 13 (1969)
- A.R. Bean, R.C. Newman, R.S. Smith. J. Phys. Chem. Sol., 31, 739 (1970)
- G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 12, 4383 (1975)
- В.К. Баженов, В.И. Фистуль. ФТП, 18, 1345 (1984)
- Е.В. Соловьева, М.Г. Мильвидский. ФТП, 17, 2022 (1983)
- М.Г. Соснин, Б.М. Туровский, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 16, 577 (1982)
- G. Davies, A.S. Oates, R.C. Newman, R. Woolley, E.C. Lightowlers, M.J. Binns, J.G. Wilkes. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 19, 841 (1986)
- Л.И. Хируненко, В.И. Шаховцов, В.К. Шинкаренко, Л.И. Шпинар, И.И. Ясковец. ФТП, 21, 562 (1987)
- A.R. Bean, R.C. Newman. J. Phys. Chem. Sol., 33, 255 (1972)
- Ю.М. Бабицкий, Н.И. Горбачева, П.М. Гринштейн, М.Г. Мильвидский. ФТП, 24, 1129 (1984)
- L.I. Khirunenko, V.I. Shakhovtsov, V.V. Shumov. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1767 (1997)
- E. Hild, P. Gaworzewski, M. Franz, K. Pressel. Appl. Phys. Lett., 72, 1362 (1998)
- Ю.М. Бабицкий, Н.И. Горбачева, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, В.П. Кузнецов, М.Г. Мильвидский, Б.М. Туровский. ФТП, 22, 307 (1988)
- D.R. Bosomworth, N. Hayes, A.R.L. Spray, G.D. Watkins. Proc. Roy. Soc. London, 317, 133 (1970)
- H. Yamasda-Kaneta, C. Kaneta, T. Ogawa. Phys. Rev. B, 47, 9338 (1993)
- I. Khirunenko, V.I. Shakhovtsov, V.J. Shumov, V.I. Yashnik. Early Stages of Oxygen Precipitation in Silicon (Dordrecht--Boston--London: Kluwer Academic Publishers, 1996) p. 397
- L.I. Khirunenko, Yu.V. Pomozov, M.G. Sosnin, V.K. Shinkarenko. Physica B, 273--274, 317 (1999)
- Г. Герцберг. Колебательные и вращательные спектры многоатомных молекул (М., Иностр. лит., 1949) гл. 1, с. 149
- B. Pajot. Semiconductors and Semimetals, 42, 191 (1994)
- А.Н. Лазарев, И.С. Лазарев, И.С. Игнатьев, Т.Ф. Тенишева. Колебания простых молекул с Si--O связями (Л., Наука, 1991) с. 59
- В.Е. Кустов, М.Г. Мильвидский, Ю.Г. Семенов, Б.М. Туровский, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 20, 270 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
