Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование морфологии поверхности пленок аморфного гидрогенизированного углерода, модифицированного медью
Звонарева Т.К.1, Иванов-Омский В.И.1, Ястребов С.Г.1, Голубок А.О.2, Горбенко О.М.2, Розанов В.В.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.
Сообщается об исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии морфологии поверхности слоев аморфного гидрогенизированного (гидрированного) углерода, модифицированного медью, a-C : H(Cu). Описывается алгоритм математической обработки изображений и построения функции распределения продольной составляющей рельефа поверхности по размерам. Пленки a-C : H(Cu) наносились методом магнетронного сораспыления графита и меди на подложки двух типов: n-Si (100) с сильно легированным поверхностным слоем и Si с нанесенным слоем Cr. Обнаружена мезоскопическая структура поверхности кристаллического кремния, хромового слоя и пленки a-C : H(Cu). Рассмотрена корреляция элементов структуры подложек и пленки. Делается вывод о формировании гранул с характерными размерами 6-8 нм, присущими собственно пленке.
- J.C. Angus, P. Koidl, S. Domitz. In: Plasma Deposition Thin Films, ed. by J. Mort, F. Jansen (CRC Boca Raton, FL, 1986) chap. 4
- J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
- H. Tsai, D.B. Bogy. J. Vac. Sci. Technol. A, 5, 3287 (1987)
- G.A.J. Amaratunga, S.R.P. Silva. Appl. Phys. Lett., 68, 2529 (1996)
- А.О. Голубок, О.М. Горбенко, Т.К. Звонарева, С.А. Масалов, В.В. Розанов, С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (2), 223 (2000)
- В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов. Письма ЖТФ, 24 (20), 28 (1998)
- О.М. Горбенко, С.А. Масалов, П.А. Фридман, Г.Э. Цырлин, А.О. Голубок. Научное приборостроение, 10 (1), 83 (2000)
- З.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств (М., Радио и связь, 1991)
- С.А. Ахманов, Ю.Е. Дьяков, А.С. Чиркин. Введение в статистическую радиофизику и оптику (М., Наука, 1981)
- Л.П. Байвель, А.С. Лагунов. Измерение и контроль дисперсности частиц методом светорассеяния под малыми углами (М., Энергия, 1977)
- M.V. Baidakova, V.I. Ivaniov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Suvorova, A.A. Sitnikova, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Proc. Int. Symp. Nanostructures and Technology (St. Petersburg, 1997) p. 383
- С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел (СПб., Наука, 1996)
- Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34 (1), 96 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
