Эпитаксиальный рост гексагональных политипов кремния на сапфире
Павлов Д.А.1, Пирогов А.В.1, Кривулин Н.О.1, Бобров А.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2014 г.
В структурах кремний на сапфире методами высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии обнаружено формирование монокристаллического гексагонального политипа кремния. Возникновение включений со структурой, отличной от структуры алмаза, связывается с образованием в кристаллической решетке кремния областей интенсивного двойникования и скоплений дефектов упаковки, формирующих собственную кристаллическую структуру. Проведенные исследования указывают на принадлежность данной модификации к политипу кремния 9R.
- J. Bandet, B. Despax, M. Caumont. J. Phys. D: Appl. Phys., 35 (3), 239 (2002)
- И.М. Шмытько, А.Н. Изотов, Н.С. Афоникова, С. Виейра, Г. Рубио. ФТТ, 40 (4), 746 (1998)
- M.E. Twig, E.D. Richmond, J.G. Pellegrino. Appl. Phys. Lett., 54 (18), 1766 (1989)
- П.А. Шиляев, Д.А. Павлов, Е.В. Коротков, М.В. Треушников. Матер. электрон. техн., N 2, 62 (2008)
- Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, В.А. Гладышева, А.И. Бобров. Вестн. ННГУ, N 3, 30 (2012)
- Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, Н.О. Кривулин, А.И. Бобров. Изв. РАН. Сер. физ., 76 (9), 1115 (2012)
- Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, Н.О. Кривулин, А.В. Нежданов, С.М. Планкина, Е.А. Питиримова, М.В. Ромашова. Матер. электрон. техн., N 4, 44 (2010)
- Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин, А.И. Бобров, А.В. Пирогов. Вестн. ННГУ, N 4 (1), 38 (2013)
- B. Wen, J. Zhao, M.J. Bucknum, P. Yao, T. Li. Diamond Relat. Mater., 17, 356 (2008)
- H. Cerva. J. Mater. Res., 6 (11), 2324 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.