Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние избытка компонентов на электрические свойства пленок антимонида индия
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия 
Поступила в редакцию: 10 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
Исследованы причины аномального поведения холловской подвижности носителей заряда при уменьшении температуры измерения от 300 K в пленках антимонида индия, полученных методом трех температур. Экспериментально показано, что существуют провалы "допустимых" температур испарителей компонентов и подложки, в пределах которых получаются сплошные проводящие пленки. Определены оптимальные режимы изготовления образцов, для которых значения подвижности остаются практически неизменными в интервале температур 150-350 K. На основе сопоставления со спектрами оптического пропускания сделан вывод о наличии в пленках высокой концентрации дефектов, связанных с отклонением состава от стехиометрии и выполняющих роль донорных и акцепторных центров. Наличие таких дефектов позволяет объяснить снижение подвижности в пленках при уменьшении температуры.
- Н.А. Горюнова. Химия алмазоподобных полупроводников (Изд-во Ленингр. ун-та, 1963)
- Ю.В. Гуляев, А.А. Веселов, А.Г. Веселов. ЖТФ, 74 (8), 113 (2004)
- К.В. Шалимова, А.М. Гуляев, В.Л. Тарасов, А.С. Шнитников. Электрон. техн. Полупроводн. матер., 14 (2), 77 (1969)
- А.А. Несмеянов. Давление пара химических элементов (М., Изд-во АН СССР, 1961)
- W. Hanlein, K.G. Gunther. I International Congress fur Vakuumtechnik (1956)
- Б.Ф. Ормонт, Н.А. Горюнова, И.Н. Агеева, Н.Н. Федорова. Изв. АН СССР. Сер. физ., 21 (1), 133 (1957)
- В.Т. Бублик, Б.Н. Кеварков, Б. Босвенский. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 20 (3), 364 (1984)
- Ф.А. Заитов, А.Я. Поляков, О.В. Горшкова. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 17 (5), 778 (1981)
- В.Д. Вернер, Д.К. Пичуговский. ФТП, 7 (10), 1012 (1973)
- Т.В. Абаева, В.Т. Бублик, А.Н. Морозов. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 24 (1), 15 (1988)
- M. Oswfldovski. Thin Sol. Films, 56, 331 (1970)
- K.G. Gunter. Naturwissenshaften, 45 (17), 415 (1958)
- J.Y. Tsao. J. Cryst. Growth, 110, 595 (1991)
- Е.В. Загорянская, П.С. Киреев. Изв. вузов. Физика, 4, 124 (1961)
- Е.М. Воронкова, Б.Н. Гречушников, Г.И. Дистлер, И.П. Петров. Оптические материалы для инфракрасной техники (Справочное издание) (Наука, 1965) с. 255
- Ida Sh. J. Appl. Phys., 65 (2), 636 (1989)
- С.В. Варганов, А.М. Гуляев. Электрон. техн. Материалы, вып. 5, 4 (1979)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
