Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
Орехов А.С.1,2, Камилов Т.С.3, Ибрагимова Б.В.3, Ивакин Г.И.1, Клечковская В.В.1
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: andrey.orekhov@gmail.com, klechvv@ns.crys.ras.ru
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.
Проведен сравнительный анализ структурных особенностей пленок высшего силицида марганца, выращенных методом диффузионного легирования монокристаллических подложек кремния парами марганца в запаянной ампуле и проточном кварцевом реакторе при постоянной откачке. Методами растровой электронно-ионной микроскопии и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показано, что в откаченной ампуле формируется однофазная текстурированная пленка высшего силицида марганца. Изменение условий роста со стационарных (ампула) на квазистационарные (реактор) приводит к формированию поликристаллических островков высшего силицида марганца с наноразмерными включениями фазы моносилицида марганца. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44547.06
- S.L. Zhang, M. Ostling. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci., 28, 1 (2003)
- A.L. Schmitt, J.M. Higgins, J.R. Szczech, S. Jin. J. Mater. Chem., 20, 223 (2010)
- C.A. Nolph, E. Vescovo, P. Reinke. Appl. Surf. Sci., 255, 7642 (2009)
- J.E. Mahan. Thin Sol. Films, 461 (1), 152 (2004)
- Т.С. Камилов, В.В. Клечковская, Б.З. Шарипов, И.В. Эрнст, В.К. Зайцев. Электрические и фотоэлектрические свойства гетерофазных структур на основе кремния и силицидов марганца (Ташкент, MERIYUS, 2014)
- U. Gottlieb, A. Sulpice, B. Lambert-Andron, O. Laborde. J. Alloys Comp., 361 (1--2), 13 (2003)
- O. Schwomma, A. Preisinger, H. Nowotny, A. Wittmann. Monatsh. Chem., 95 (6), 1527 (1964)
- O. Schwomma, H. Nowotny, A. Wittmann. Monatsh. Chem., 94 (4), 681 (1963)
- L.M. Levinson. J. Solid State Chem., 6, 126 (1973)
- А.С. Орехов, Е.И. Суворова. Кристаллография, 59 (1), 83 (2014). [Eng. version A.S. Orekhov, E.I. Suvorova. Cryst. Rep., 59 (1), 78 (2014)]
- Z.M. Wang, Y.D. Wu, Y.J. He. Int J. Mod. Phys. B, 18 (1), 87 (2004)
- В.В. Клечковская, Т.С. Камилов, С.И. Адашева, С.С. Худайбердыев, В.И. Муратова. Кристаллография, 39 (5), 894 (1994)
- P. Stadelman. JEMS electron microscopy simulation software. http://cime.epfl.ch/reserch/jems
- D.B. Williams, C.B. Carter. The transmission electron microscopy. A Textbook for Materials Science (Springer Science \& Business Media, 2009) p. 760
- А.С. Орехов, Т.С. Камилов, А.С. Орехов, Н.А. Архарова, Е.В. Ракова, В.В. Клечковская. Рос. нанотехнологии, 11 (5-6), 46 (2016). [Eng. version A.S. Orekhov, T.S. Kamilov, A.S. Orekhov, N.A. Arkharova, E.V. Rakova, V.V. Klechkovskaya. Nanotech. in Rus., 11 (9-10), 610 (2016)]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
